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1. (WO2017210184) CAPTEUR DE PRESSION À RÉSONATEUR D'ONDE ACOUSTIQUE DE VOLUME MICRO-USINÉ

Pub. No.:    WO/2017/210184    International Application No.:    PCT/US2017/034987
Publication Date: Fri Dec 08 00:59:59 CET 2017 International Filing Date: Wed May 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/00
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC.
Inventors: TADIGADAPA, Srinivas
GOEL, Nishit
BART, Stephen
Title: CAPTEUR DE PRESSION À RÉSONATEUR D'ONDE ACOUSTIQUE DE VOLUME MICRO-USINÉ
Abstract:
L'invention concerne un capteur de pression qui comprend un substrat piézoélectrique comportant une structure généralement plane et un emplacement d'ancrage fixant le substrat piézoélectrique au niveau de la périphérie de la structure plane du substrat piézoélectrique. La structure plane du substrat piézoélectrique comporte une première région dans laquelle une première épaisseur caractéristique est adjacente à l'emplacement d'ancrage, et une seconde région présentant une seconde épaisseur caractéristique au niveau d'une région intermédiaire du substrat. La seconde épaisseur caractéristique est inférieure à la première épaisseur caractéristique, de sorte que la structure plane dans la seconde région est déplacée par rapport à l'axe neutre de la structure plane, ce qui amène la seconde région, pendant qu'elle est soumise à une flexion, à présenter soit principalement une contrainte de compression, soit principalement une contrainte de traction.