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1. (WO2017179243) DISPOSITIF SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, PROCÉDÉ SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, DISPOSITIF D'INSPECTION DE SURFACE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE

Pub. No.:    WO/2017/179243    International Application No.:    PCT/JP2016/087728
Publication Date: Fri Oct 20 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Tue Dec 20 00:59:59 CET 2016
IPC: G01N 21/892
Applicants: NIPPON STEEL & SUMITOMO METAL CORPORATION
新日鐵住金株式会社
Inventors: KONNO, Yusuke
今野 雄介
KOBAYASHI, Takamichi
小林 尊道
AKAGI, Toshio
赤木 俊夫
HIBI, Atsuhiro
日比 厚裕
FURUYA, Nobuhiro
古家 順弘
NAKAZAKI, Akihito
中崎 昭仁
Title: DISPOSITIF SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, PROCÉDÉ SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, DISPOSITIF D'INSPECTION DE SURFACE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE
Abstract:
L'invention vise à permettre de découvrir, avec une sensibilité élevée, des défauts en saillie ou en retrait et similaires générés sur la surface d'un objet à inspecter qui présente une rugosité de surface de l'ordre de la longueur d'onde de la lumière visible, les défauts en saillie ou en creux étant de l'ordre de plusieurs fois la taille de ladite rugosité de surface, en vue de différencier avec précision des impuretés et des éraflures en saillie ou en creux existant sur la surface de l'objet à inspecter, et en vue de réduire la taille du dispositif. À cet effet, la présente invention concerne un dispositif servant à capturer une image d'un objet à inspecter qui comporte : une source de lumière qui génère un flux lumineux qui appartient à la bande de longueur d'onde infrarouge et qui présente un demi-angle d'étalement prescrit sur la surface de l'objet à inspecter ; un système optique de projection qui projette le flux lumineux sur la surface de l'objet à inspecter selon un angle de projection prescrit ; et une unité de capture d'image qui capture des images de la lumière réfléchie à partir de la surface de l'objet à inspecter. L'unité de capture d'image comprend : un système optique de capture d'image qui présente au moins une lentille convexe et qui condense la lumière réfléchie tout en divisant la lumière réfléchie dans deux directions différentes ; et des premier et second éléments de capture d'image qui capturent des images des deux faisceaux de lumière réfléchie qui ont été transmis à travers le système optique de capture d'image. Le premier élément de capture d'image est positionné davantage vers l'objet à inspecter qu'une position le long de l'axe optique de la lumière réfléchie qui est conjuguée à la surface de l'objet à inspecter dans le système optique de capture d'image, et le second élément de capture d'image est positionné davantage vers l'avant dans la direction de déplacement de la lumière réfléchie que ladite position conjuguée.