WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2017179243) DISPOSITIF SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, PROCÉDÉ SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, DISPOSITIF D'INSPECTION DE SURFACE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/179243    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/087728
Date de publication : 19.10.2017 Date de dépôt international : 19.12.2016
CIB :
G01N 21/892 (2006.01)
Déposants : NIPPON STEEL & SUMITOMO METAL CORPORATION [JP/JP]; 6-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008071 (JP)
Inventeurs : KONNO, Yusuke; (JP).
KOBAYASHI, Takamichi; (JP).
AKAGI, Toshio; (JP).
HIBI, Atsuhiro; (JP).
FURUYA, Nobuhiro; (JP).
NAKAZAKI, Akihito; (JP)
Mandataire : KAMEYA, Yoshiaki; (JP).
KANEMOTO, Tetsuo; (JP).
HAGIWARA, Yasushi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-079716 12.04.2016 JP
Titre (EN) DEVICE FOR CAPTURING IMAGE OF OBJECT TO BE INSPECTED, METHOD FOR CAPTURING IMAGE OF OBJECT TO BE INSPECTED, SURFACE INSPECTING DEVICE AND SURFACE INSPECTING METHOD
(FR) DISPOSITIF SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, PROCÉDÉ SERVANT À CAPTURER UNE IMAGE D'UN OBJET À INSPECTER, DISPOSITIF D'INSPECTION DE SURFACE ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SURFACE
(JA) 被検査体撮像装置、被検査体撮像方法、表面検査装置及び表面検査方法
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To make it possible to discover, with a high sensitivity, protruding or recessed defects and the like generated on the surface of an object to be inspected which has a surface roughness of the order of the wavelength of visible light, where the protruding or recessed defects are of the order of several times the size of said surface roughness, to differentiate accurately between dirt and protruding or recessed scratches existing on the surface of the object to be inspected, and to reduce the size of the device. [Solution] A device for capturing an image of an object to be inspected according to the present invention is provided with: a light source which generates luminous flux that belongs to the infrared wavelength band and has a prescribed spreading half angle on the surface of the object to be inspected; a projection optical system that projects the luminous flux onto the surface of the object to be inspected at a prescribed projection angle; and an image capturing unit which captures images of reflected light from the surface of the object to be inspected. The image capturing unit includes: an image capturing optical system which has at least one convex lens and which condenses the reflected light while splitting the reflected light into two different directions; and first and second image capturing elements which capture images of the two beams of reflected light that have been transmitted through the image capturing optical system. The first image capturing element is positioned further toward the object to be inspected than a position along the optical axis of the reflected light that is conjugate with the surface of the object to be inspected in the image capturing optical system, and the second image capturing element is positioned further forward in the direction of travel of the reflected light than said conjugate position.
(FR)L'invention vise à permettre de découvrir, avec une sensibilité élevée, des défauts en saillie ou en retrait et similaires générés sur la surface d'un objet à inspecter qui présente une rugosité de surface de l'ordre de la longueur d'onde de la lumière visible, les défauts en saillie ou en creux étant de l'ordre de plusieurs fois la taille de ladite rugosité de surface, en vue de différencier avec précision des impuretés et des éraflures en saillie ou en creux existant sur la surface de l'objet à inspecter, et en vue de réduire la taille du dispositif. À cet effet, la présente invention concerne un dispositif servant à capturer une image d'un objet à inspecter qui comporte : une source de lumière qui génère un flux lumineux qui appartient à la bande de longueur d'onde infrarouge et qui présente un demi-angle d'étalement prescrit sur la surface de l'objet à inspecter ; un système optique de projection qui projette le flux lumineux sur la surface de l'objet à inspecter selon un angle de projection prescrit ; et une unité de capture d'image qui capture des images de la lumière réfléchie à partir de la surface de l'objet à inspecter. L'unité de capture d'image comprend : un système optique de capture d'image qui présente au moins une lentille convexe et qui condense la lumière réfléchie tout en divisant la lumière réfléchie dans deux directions différentes ; et des premier et second éléments de capture d'image qui capturent des images des deux faisceaux de lumière réfléchie qui ont été transmis à travers le système optique de capture d'image. Le premier élément de capture d'image est positionné davantage vers l'objet à inspecter qu'une position le long de l'axe optique de la lumière réfléchie qui est conjuguée à la surface de l'objet à inspecter dans le système optique de capture d'image, et le second élément de capture d'image est positionné davantage vers l'avant dans la direction de déplacement de la lumière réfléchie que ladite position conjuguée.
(JA)【課題】可視光の波長程度の表面粗度を有する被検査体の表面に生じた表面粗度の数倍程度の凹凸欠陥等を高感度に発見し、被検査体の表面に存在する汚れと凹凸疵との区別を正確に行うとともに装置の小型化を図ること。 【解決手段】本発明に係る被検査体撮像装置は、赤外波長帯域に属し、被検査体の表面において所定の広がり半角を有する光束を発生させる光源と、光束を所定の投射角で被検査体の表面に投射する投射光学系と、被検査体の表面からの反射光を撮像する撮像部とを備え、撮像部は、少なくとも1つの凸レンズを有し、反射光を集光しつつ当該反射光を二つの異なった方向へ分岐する撮像光学系と、撮像光学系を透過した各反射光を撮像する第1及び第2の撮像素子とを有しており、第1の撮像素子は反射光の光軸に沿って撮像光学系の被検査体の表面に共役な位置よりも被検査体側に位置し、第2の撮像素子は当該共役な位置よりも反射光の進行方向側に位置する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)