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1. (WO2017178209) PROCEDE ET APPAREIL DE POSITIONNEMENT D'UN MICRO- OU NANO-OBJET SOUS CONTROLE VISUEL
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N° de publication : WO/2017/178209 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/056982
Date de publication : 19.10.2017 Date de dépôt international : 23.03.2017
CIB :
G01Q 30/02 (2010.01) ,G01Q 60/60 (2010.01) ,H01L 21/18 (2006.01) ,G02B 1/11 (2015.01) ,G02B 21/34 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
Q
TECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE [SPM]
30
Moyens auxiliaires destinés à assister ou améliorer les techniques ou les appareils à sonde à balayage, p.ex. dispositifs d’affichage ou de traitement de données
02
Dispositifs d'analyse d’un type autre que la microscopie à sonde à balayage SPM, p.ex. microscope électronique à balayage SEM [Scanning Electron Microscope], spectromètre ou microscope optique
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
Q
TECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE [SPM]
60
Types particuliers de microscopie à sonde à balayage SPM [Scanning-Probe Microscopy] ou appareils à cet effet; Composants essentiels de ceux-ci
60
Microscopie électrochimique à balayage SECM [Scanning Electro-Chemical Microscopy] ou appareils à cet effet, p.ex. sondes SECM
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
1
Eléments optiques caractérisés par la substance dont ils sont faits; Revêtements optiques pour éléments optiques
10
Revêtements optiques obtenus par application sur les éléments optiques ou par traitement de la surface de ceux-ci
11
Revêtements antiréfléchissants
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
34
Lames de microscope, p.ex. montage d'échantillons sur des lames de microscope
Déposants :
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES [FR/FR]; 25 rue Leblanc - Bâtiment "Le Ponant D" 75015 PARIS, FR
Inventeurs :
CAMPIDELLI, Stéphane; FR
CORNUT, Renaud; FR
DERYCKE, Vincent; FR
AUSSERRE, Dominique; FR
AUSSERRE, Manuel; FR
Mandataire :
PRIORI, Enrico; FR
Données relatives à la priorité :
165324713.04.2016FR
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR POSITIONING A MICRO- OR NANO-OBJECT UNDER VISUAL OBSERVATION
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE POSITIONNEMENT D'UN MICRO- OU NANO-OBJET SOUS CONTROLE VISUEL
Abrégé :
(EN) Method for moving a micro- or nano-object (SLM, F2D2) into position above a planar holder (SAC) under visual observation, characterized in that: said micro- or nano-object is submerged in a transparent medium, called the ambient medium (MA), having a refractive index n3; said planar holder comprises a transparent substrate (SS) of refractive index n0>n3 on which is deposited at least one optically absorbent layer (CA) that is able to behave as an antireflection coating when illuminated at normal incidence at an illuminating wavelength λ through said substrate; and the visual observation comprises illuminating said micro- or nano-object at least at said wavelength λ through said substrate, and also observing it through said substrate. Application of such a method to scanning probe microscopy and to the assembly of nanostructures.
(FR) Procédé de positionnement d'un micro- ou nano-objet (SLM, F2D2) au-dessus d'un support plan (SAC) par déplacement effectué sous contrôle visuel, caractérisé en ce que : ledit micro- ou nano-objet est immergé dans un milieu transparent, dit milieu ambiant (MA), présentant un indice de réfraction n3; ledit support plan comprend un substrat transparent (SS) d'indice de réfraction n0>n3 sur lequel est déposée au moins une couche optiquement absorbante (CA), adaptée pour se comporter en tant que revêtement antireflet lorsqu'elle est éclairée en incidence normale à une longueur d'onde d'éclairage λ à travers ledit substrat; et le contrôle visuel comprend l'éclairage dudit micro- ou nano-objet au moins à ladite longueur d'onde λ à travers ledit substrat, et son observation également à travers ledit substrat. Application d'un tel procédé à la microscopie à balayage par sonde locale et à l'assemblage de nanostructrures.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)