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1. (WO2017175623) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN ÉLÉMENT DOTÉ D'UN FILM HYDROPHILE DÉPOSÉ PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE

Pub. No.:    WO/2017/175623    International Application No.:    PCT/JP2017/012550
Publication Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/58
B32B 7/02
C23C 14/56
G02F 1/13
G02F 1/1334
G02F 1/1343
Applicants: KITAGAWA INDUSTRIES CO., LTD.
北川工業株式会社
Inventors: SAITO Toshiyuki
斉藤 敏行
NAKAMURA Yusuke
中村 祐介
KAWAGUCHI Yasuhiro
川口 康弘
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN ÉLÉMENT DOTÉ D'UN FILM HYDROPHILE DÉPOSÉ PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE
Abstract:
L'invention porte sur un procédé de production d'un élément doté d'un film hydrophile déposé par pulvérisation cathodique, le procédé comprenant : une étape de formation de film déposé par pulvérisation cathodique pour former un film conducteur transparent sur un substrat support par un procédé de pulvérisation cathodique ; et une étape de traitement par plasma sous vide pour appliquer un traitement par plasma sous vide au film conducteur transparent sur le substrat support dans une atmosphère alimentée en oxygène gazeux, de façon à introduire des atomes d'oxygène dans le film conducteur transparent.