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1. (WO2017169830) STRUCTURE D'ÉVACUATION ET DE DISTRIBUTION DE GAZ

Pub. No.:    WO/2017/169830    International Application No.:    PCT/JP2017/010607
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Mar 17 00:59:59 CET 2017
IPC: B29C 45/34
B29C 33/10
Applicants: SANKO GOSEI LTD.
三光合成株式会社
Inventors: MITSUSHIMA Toshio
満嶋 敏雄
NAKASHIMA Hisashi
中島 久
Title: STRUCTURE D'ÉVACUATION ET DE DISTRIBUTION DE GAZ
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de fournir une structure pouvant évacuer et distribuer un gaz dans des parties sur une large plage de formes 3D qui facilite l'évacuation de gaz d'une cavité et présentant un rapport d'ouverture élevé fournissant une bonne efficacité. La solution selon la présente invention porte sur ladite structure d'évacuation et de distribution de gaz (1) comprenant un corps principal (2) et une partie poreuse (3) intégrée au corps principal (2). Une pluralité de canaux d'évacuation et de distribution de gaz (4) sont formés dans le corps principal (2). Une extrémité de la pluralité de canaux d'évacuation et de distribution de gaz (4) communique avec la partie poreuse (3). À l'autre extrémité, au moins deux des canaux d'évacuation et de distribution de gaz (4) sont regroupés pour former un trajet unique (5) ouvert vers l'extérieur du corps principal (2). Le corps principal (2) est constitué d'un métal poreux qui est plus dense que la partie poreuse (3). Des surfaces intérieures (4a) des canaux d'évacuation et de distribution de gaz (4) sont lissées par un traitement NC (non représenté). Cela permet d'éliminer précisément les variations dans la section transversale d'un passage d'écoulement de gaz, empêchant ainsi l'accumulation de résidu de gaz. La distance entre une surface (3a) de la partie poreuse (3) sur le côté communiquant avec la pluralité de canaux d'évacuation et de distribution de gaz (4) et une surface (3b) de la partie poreuse (3) sur le côté opposé est d'environ 4 mm. Une rainure (6) est formée dans une partie de communication entre les canaux d'évacuation et de distribution de gaz (4) et la partie poreuse (3).