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1. (WO2017169717) DISPOSITIF D'INSPECTION, APPAREIL D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION

Pub. No.:    WO/2017/169717    International Application No.:    PCT/JP2017/010100
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 15 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 33/553
G01N 21/64
G01N 21/78
G01N 33/53
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: WATANO, Hirotaka
渡野 弘隆
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION, APPAREIL D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif d'inspection permettant d'améliorer l'efficacité d'extraction de la lumière et pouvant être produit à faible coût ; un appareil d'inspection équipé dudit dispositif d'inspection ; et un procédé d'inspection. La solution de l'invention porte sur un dispositif d'inspection (1) pourvu d'une pluralité de trous (14) qui s'étendent d'une surface (11) à l'autre surface (12) d'un substrat de type feuille (10), ledit dispositif d'inspection (1) comprenant : des zones (20), chacune d’entre elles contenant au moins certains des trous (14) et au moins une partie des éléments de paroi (16) qui constituent les surfaces de paroi intérieure (14a) desdits au moins certains trous (14) comprenant de l'alumine; et des parois d’encadrement (18) comprenant de l'aluminium, lesquelles entourent lesdites zones (20) lorsque le dispositif est vu depuis la surface (11). Une substance de piégeage qui se lie spécifiquement à une substance spécifique est fixée sur les surfaces de paroi intérieure (14a) desdits au moins certains trous (14).