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1. (WO2017145381) PROCÉDÉ D'OBSERVATION PAR MICROSCOPE COMPOSÉ COMPRENANT UN MICROSCOPE OPTIQUE INVERSÉ ET UN MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE, ET PROGRAMME ET MICROSCOPE COMPOSÉ POUR METTRE EN ŒUVRE LE PROCÉDÉ D'OBSERVATION
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N° de publication : WO/2017/145381 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/055889
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 26.02.2016
CIB :
G01Q 30/02 (2010.01) ,G02B 21/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
Q
TECHNIQUES OU APPAREILS À SONDE À BALAYAGE; APPLICATIONS DES TECHNIQUES DE SONDE À BALAYAGE, p.ex. MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE [SPM]
30
Moyens auxiliaires destinés à assister ou améliorer les techniques ou les appareils à sonde à balayage, p.ex. dispositifs d’affichage ou de traitement de données
02
Dispositifs d'analyse d’un type autre que la microscopie à sonde à balayage SPM, p.ex. microscope électronique à balayage SEM [Scanning Electron Microscope], spectromètre ou microscope optique
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
Déposants :
オリンパス株式会社 OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072, JP
Inventeurs :
植草 良嗣 UEKUSA, Yoshitsugu; JP
酒井 信明 SAKAI, Nobuaki; JP
Mandataire :
蔵田 昌俊 KURATA, Masatoshi; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) OBSERVATION METHOD USING COMPOUND MICROSCOPE HAVING INVERTED OPTICAL MICROSCOPE AND ATOMIC FORCE MICROSCOPE, AND PROGRAM AND COMPOUND MICROSCOPE FOR CARRYING OUT OBSERVATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ D'OBSERVATION PAR MICROSCOPE COMPOSÉ COMPRENANT UN MICROSCOPE OPTIQUE INVERSÉ ET UN MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE, ET PROGRAMME ET MICROSCOPE COMPOSÉ POUR METTRE EN ŒUVRE LE PROCÉDÉ D'OBSERVATION
(JA) 倒立型光学顕微鏡と原子間力顕微鏡を有する複合型顕微鏡による観察方法、観察方法を実行するプログラム及び複合型顕微鏡
Abrégé :
(EN) This observation method using a compound microscope having an inverted optical microscope and an atomic force microscope has an approach step (50) in which a cantilever is swept along the Z axis and a probe is made to approach a sample surface layer until sample-surface-layer information can be acquired, a cantilever observation step (51) for observing the cantilever using an inverted optical microscope and acquiring at least shape information for the cantilever, an observation position movement step (52) for moving the observation position of the inverted optical microscope downward along the Z-axis direction at least on the basis of the probe length, a fluorescence observation step (53) for observing fluorescence using the inverted optical microscope, and a sample-surface-layer-information acquisition step (54) for acquiring sample-surface-layer information by sweeping the cantilever at least along the Z-axis. The approach step, cantilever observation step, and observation position movement step are carried out in order. The fluorescence observation step is carried out after the observation position movement step. The sample-surface-layer-information acquisition step is carried out after the approach step (50).
(FR) L'invention concerne un procédé d'observation à l'aide d'un microscope composé comprenant un microscope optique inversé et un microscope à force atomique, qui comprend une étape d'approche (50) dans laquelle un porte-à-faux est balayé le long de l'axe Z et une sonde est amenée à s'approcher d'une couche de surface d'échantillon jusqu'à ce que des informations de couche de surface d'échantillon puissent être acquises, une étape d'observation en porte-à-faux (51) consistant à observer le porte-à-faux à l'aide d'un microscope optique inversé et acquérir des informations de forme pour le porte-à-faux, une étape de déplacement de position d'observation (52) consistant à déplacer la position d'observation du microscope optique inversé vers le bas le long de la direction d'axe Z au moins sur la base de la longueur de sonde, une étape d'observation de fluorescence (53) consistant à observer une fluorescence à l'aide du microscope optique inversé, et une étape d'acquisition d'informations de couche de surface d'échantillon (54) consistant à acquérir des informations de couche de surface d'échantillon par balayage du porte-à-faux au moins le long de l'axe Z. L'étape d'approche, l'étape d'observation en porte-à-faux, et l'étape de déplacement de position d'observation sont effectuées dans l'ordre. L'étape d'observation de fluorescence est effectuée après l'étape de déplacement de position d'observation. L'étape d'acquisition d'informations de couche de surface d'échantillon est effectuée après l'étape d'approche (50).
(JA) 倒立型光学顕微鏡と原子間力顕微鏡の複合型顕微鏡による観察方法は、カンチレバーをZ軸に沿って走査させて、試料表層情報が取得できるまで探針を試料表層に近づける接近工程(50)と、倒立型光学顕微鏡を通してカンチレバーを観察し、少なくともカンチレバーの形状情報を取得するカンチレバー観察工程(51)と、倒立型光学顕微鏡の観察位置を、少なくとも探針の長さに基づいて、Z軸に沿って下方に向けて移動させる観察位置移動工程(52)と、倒立型光学顕微鏡を通して蛍光観察を行う蛍光観察工程(53)と、カンチレバーを少なくともZ軸に沿って走査させて試料表層情報を取得する試料表層情報取得工程(54)を有する。接近工程とカンチレバー観察工程と観察位置移動工程は順に行う。蛍光観察工程は観察位置移動工程の後に行う。試料表層情報取得工程は、接近工程(50)の後に行う。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)