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1. (WO2017137266) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MOIRAGE D’UN ÉCHANTILLON OPTIQUE
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N° de publication :    WO/2017/137266    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/051759
Date de publication : 17.08.2017 Date de dépôt international : 27.01.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G01M 11/02 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, JP, KE, KG, KH, KM, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
SAMANIEGO, Michael [DE/DE]; (DE) (US only).
SCHADE, Peter [DE/DE]; (DE) (US only).
KEIL, Michael [DE/DE]; (DE) (US only).
JÄNKER, Bernd [DE/DE]; (DE) (US only)
Inventeurs : SAMANIEGO, Michael; (DE).
SCHADE, Peter; (DE).
KEIL, Michael; (DE).
JÄNKER, Bernd; (DE)
Mandataire : FRANK, Hartmut; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 202 198.2 12.02.2016 DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR MOIRÉ-VERMESSUNG EINES OPTISCHEN PRÜFLINGS
(EN) DEVICE AND METHOD FOR MOIRÉ MEASUREMENT OF AN OPTICAL TEST SPECIMEN
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MOIRAGE D’UN ÉCHANTILLON OPTIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Moiré-Vermessung eines optischen Prüflings, mit einer Gitteranordnung aus einem ersten, im optischen Strahlengang vor dem Prüfling positionierbaren Gitter (25, 25', 35, 35') und einem zweiten, im optischen Strahlengang nach dem Prüfling positionierbaren Gitter (11, 11', 11", 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111, 121, 131, 141), einer Auswerteeinheit mit wenigstens einem Detektor (12, 12', 12", 22, 22', 32, 32', 42, 52, 62, 72, 82, 92, 102, 112, 122, 132, 142) zur Auswertung von durch Überlagerung der beiden Gitter in einer im optischen Strahlengang nach dem zweiten Gitter befindlichen Detektionsebene erzeugten Moiré-Strukturen, und wenigstens einer Aperturblende (14, 14', 14", 24, 24', 34, 34'), durch welche die nach Lichtaustritt aus dem zweiten Gitter entstandene Lichtverteilung derart bereichsweise abgeschattet werden kann, dass nur Licht einer Untermenge aller Feldpunkte auf dem zweiten Gitter die Detektionsebene erreicht.
(EN)The invention relates to a device for Moiré measurement of an optical test specimen, comprising a grating arrangement composed of a first grating (25, 25', 35, 35'), which is positionable in the optical beam path upstream of the test specimen, and a second grating (11, 11', 11", 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111, 121, 131, 141), which is positionable in the optical beam path downstream of the test specimen, an evaluation unit having at least one detector (12, 12', 12", 22, 22', 32, 32', 42, 52, 62, 72, 82, 92, 102, 112, 122, 132, 142) for evaluating Moiré structures produced by superimposition of the two gratings in a detection plane situated in the optical beam path downstream of the second grating, and at least one aperture stop (14, 14', 14", 24, 24', 34, 34'), by which the light distribution produced after emergence of light from the second grating can be shaded regionally in such a way that only light of a subset of all field points on the second grating reaches the detection plane.
(FR)L’invention concerne un dispositif de mesure de moirage d’un échantillon optique, lequel dispositif comprend un ensemble de trames constitué d’une première trame (25, 25’, 35, 35’) pouvant être positionnée dans le trajet optique en avant de l’échantillon et d’une seconde trame (11, 11’, 11’’, 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111, 121, 131, 141) pouvant être positionnée dans le trajet optique en aval de l’échantillon, une unité d’évaluation, comportant au moins un détecteur (12, 12’, 12’’, 22, 22’, 32, 32’, 42, 52, 62, 72, 82, 92, 102, 112, 122, 132, 142), destinée à évaluer des structures de moirage générées, par superposition des deux trames, dans un plan de détection en aval de la seconde trame dans le trajet optique, et au moins un diaphragme (14, 14’, 14’’, 24, 24’, 34, 34’) qui permet d’occulter par endroits la distribution de lumière après la sortie de la lumière de la seconde trame de sorte que seulement la lumière d’un sous-ensemble de tous les points de champ sur la seconde trame atteigne le plan de détection.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)