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1. (WO2017137266) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MOIRAGE D’UN ÉCHANTILLON OPTIQUE

Pub. No.:    WO/2017/137266    International Application No.:    PCT/EP2017/051759
Publication Date: Fri Aug 18 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Jan 28 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
G01M 11/02
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
SAMANIEGO, Michael
SCHADE, Peter
KEIL, Michael
JÄNKER, Bernd
Inventors: SAMANIEGO, Michael
SCHADE, Peter
KEIL, Michael
JÄNKER, Bernd
Title: DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE MOIRAGE D’UN ÉCHANTILLON OPTIQUE
Abstract:
L’invention concerne un dispositif de mesure de moirage d’un échantillon optique, lequel dispositif comprend un ensemble de trames constitué d’une première trame (25, 25’, 35, 35’) pouvant être positionnée dans le trajet optique en avant de l’échantillon et d’une seconde trame (11, 11’, 11’’, 41, 51, 61, 71, 81, 91, 101, 111, 121, 131, 141) pouvant être positionnée dans le trajet optique en aval de l’échantillon, une unité d’évaluation, comportant au moins un détecteur (12, 12’, 12’’, 22, 22’, 32, 32’, 42, 52, 62, 72, 82, 92, 102, 112, 122, 132, 142), destinée à évaluer des structures de moirage générées, par superposition des deux trames, dans un plan de détection en aval de la seconde trame dans le trajet optique, et au moins un diaphragme (14, 14’, 14’’, 24, 24’, 34, 34’) qui permet d’occulter par endroits la distribution de lumière après la sortie de la lumière de la seconde trame de sorte que seulement la lumière d’un sous-ensemble de tous les points de champ sur la seconde trame atteigne le plan de détection.