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1. (WO2017051454) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UVE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/051454    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/076912
Date de publication : 30.03.2017 Date de dépôt international : 24.09.2015
CIB :
H05G 2/00 (2006.01), G02B 3/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400,Oaza Yokokurashinden,Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : YABU Takayuki; (JP)
Mandataire : MATSUURA Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 23F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630223 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) EUV LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE UVE
(JA) 極端紫外光生成装置
Abrégé : front page image
(EN)This EUV light generation device is to be used along with a laser device that outputs laser light. The EUV light generation device comprises: a chamber wherein an EUV light is generated from a plasma, which is produced by irradiating the laser light onto a target in a generation region inside the chamber; a target supply apparatus for outputting the target as a droplet towards the generation region within the chamber; a droplet detector for detecting the droplet in a detection region between the target supply apparatus and the generation region; and a control unit for sending a trigger signal to the laser device, and for providing the laser device with a trigger for outputting the laser light. The droplet detector sends a passage timing signal to the control unit, indicating the timing of the droplet passage through the detection region. The control unit may include a noise compensation unit to compensate for a noise which is superimposed with the passage timing signal and originates from an electromagnetic wave that has been irradiated from the plasma, the control unit may be sending the trigger signal to the laser device on the basis of the passage timing signal which has been compensated for the noise by the noise compensation unit.
(FR)L'invention concerne un dispositif de génération de lumière UVE à utiliser conjointement avec un dispositif laser qui délivre en sortie une lumière laser. Le dispositif de génération de lumière UVE comprend : une chambre dans laquelle une lumière UVE est générée à partir d'un plasma qui est produit par irradiation de la lumière laser sur une cible dans une région de génération au sein de la chambre ; un appareil de fourniture de cible pour délivrer en sortie la cible sous forme d'une gouttelette vers la région de génération au sein de la chambre ; un détecteur de gouttelette pour détecter la gouttelette dans une région de détection entre l'appareil de fourniture de cible et la région de génération ; et une unité de commande pour envoyer un signal de déclenchement au dispositif laser et pour fournir au dispositif laser un déclenchement pour délivrer en sortie la lumière laser. Le détecteur de gouttelette envoie un signal de temporisation de passage à l'unité de commande, indiquant la temporisation du passage de la gouttelette à travers la région de détection. L'unité de commande peut contenir une unité de compensation de bruit afin de compenser un bruit superposé sur le signal de temporisation de passage et provenant d'une onde électromagnétique irradiée à partir du plasma, l'unité de commande peut envoyer le signal de déclenchement au dispositif laser sur la base du signal de temporisation de passage dont le bruit a été compensé par l'unité de compensation de bruit.
(JA)極端紫外光生成装置は、レーザ光を出力するレーザ装置と共に用いられる極端紫外光生成装置であって、内部の生成領域でターゲットに前記レーザ光が照射されることで発生するプラズマから極端紫外光が生成されるチャンバと、前記チャンバ内の前記生成領域に向かって前記ターゲットをドロップレットとして出力するターゲット供給器と、前記ターゲット供給器と前記生成領域との間にある検出領域において前記ドロップレットを検出するドロップレット検出器と、前記レーザ光を出力する契機を前記レーザ装置に与えるトリガ信号を前記レーザ装置に送信する制御部と、を備え、前記ドロップレット検出器は、前記ドロップレットが前記検出領域を通過したタイミングを示す通過タイミング信号を前記制御部に送信し、前記制御部は、前記プラズマから放射された電磁波に起因して前記通過タイミング信号に重畳するノイズを補償するノイズ補償部を含み、前記ノイズ補償部によって前記ノイズが補償された前記通過タイミング信号に基づいて、前記トリガ信号を前記レーザ装置に送信してもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)