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1. (WO2017039170) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DU CHANGEMENT D'ÉPAISSEUR OU DE HAUTEUR D'UN OBJET
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N° de publication : WO/2017/039170 N° de la demande internationale : PCT/KR2016/008839
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 11.08.2016
CIB :
G01B 11/06 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01)
Déposants : EO TECHNICS CO.,LTD.[KR/KR]; 91, Dongpyeon-ro Dongan-gu, Anyang-si, Gyeonggi-do 13930, KR
Inventeurs : LEE, Dong Jun; KR
HYUN, Dong Won; KR
KIM, Byung Oh; KR
Mandataire : Y.P.LEE, MOCK & PARTNERS; 12F Daelim Acrotel, 13 Eonju-ro 30-gil Gangnam-gu, Seoul 06292, KR
Données relatives à la priorité :
10-2015-012493703.09.2015KR
Titre (EN) DEVICE AND METHOD FOR MEASURING CHANGE IN THICKNESS OR HEIGHT OF OBJECT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DU CHANGEMENT D'ÉPAISSEUR OU DE HAUTEUR D'UN OBJET
(KO) 물체의 두께 또는 높이 변화를 측정하는 장치 및 방법
Abrégé : front page image
(EN) Disclosed are a device and a method for measuring a change in the thickness or the height of an object, the device being provided on the upper part of the object. The disclosed measuring device comprises: a light source which emits a probe light; a light focusing unit which focuses the probe light and irradiates same on an object; a light sensing unit which comprises a Shack-Hartmann sensor and detects a change in a reflected light coming from a reflective surface of the object; and a calculation unit which calculates a change in the height of the reflective surface by using the change in the reflected light detected by the light sensing unit.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé de mesure d'un changement dans l'épaisseur ou la hauteur d'un objet, le dispositif étant prévu sur la partie supérieure de l'objet. Le dispositif de mesure de l'invention comprend : une source de lumière qui émet une lumière de sonde ; une unité de focalisation de lumière qui focalise la lumière de sonde et émet celle-ci sur un objet ; une unité de détection de lumière qui comprend un capteur de Shack-Hartmann et détecte un changement dans une lumière réfléchie provenant d'une surface réfléchissante de l'objet ; et une unité de calcul qui calcule un changement de hauteur de la surface réfléchissante à l'aide du changement de lumière réfléchie détecté par l'unité de détection de lumière.
(KO) 대상 물체의 상부에 마련되어 상기 대상 물체의 두께나 높이 변화를 측정하는 장치 및 방법이 개시된다. 개시된다. 개시된 측정장치는, 탐지광을 방출하는 광원; 상기 탐지광을 집속하여 상기 대상 물체에 조사하는 광집속부; 상기 대상 물체의 반사면으로부터 나오는 반사광의 변화를 검출하는 것으로, 샤크-하트만 센서를 포함하는 광센싱부; 및 상기 광센싱부에 의해 검출된 상기 반사광의 변화를 이용하여 상기 반사면의 높이 변화를 계산하는 연산부;를 포함한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)