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1. (WO2017037885) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/037885    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/074919
Date de publication : 09.03.2017 Date de dépôt international : 02.09.2015
CIB :
H05H 1/24 (2006.01)
Déposants : FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 19 Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686 (JP)
Inventeurs : JINDO, Takahiro; (JP)
Mandataire : NEXT INTERNATIONAL; 7th Floor, Daiei Building, 11-20, Nishiki 1-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMA GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE PLASMA À PRESSION ATMOSPHÉRIQUE
(JA) 大気圧プラズマ発生装置
Abrégé : front page image
(EN)This plasma irradiation device 10 comprises a main unit 12, a pair of electrodes 14, 16, a gas supply device 20, and a laser irradiation device 22. The gas supply device 20 supplies treatment gas to inside the main unit 12. Treatment gas that flows through the inside of a cylinder section 23 of the main unit 12 is converted into plasma by voltage being applied to the electrodes 14, 16 and electrical discharge occurring between the electrodes 14, 16. As a result, plasma is ejected in the axial direction of the cylinder section 23 from an opening in an end surface of the cylinder section 23, said end surface being on the opposite side to an end surface on the side that the laser irradiation device 22 is connected to. The laser irradiation device 22 irradiates laser light in the axial direction of the cylinder section 23. As a result, the plasma irradiation position can be visually checked by laser light and plasma can be appropriately irradiated on an object to be treated.
(FR)Selon l’invention, un dispositif d’irradiation au plasma (10) est équipé d’une partie corps principal (12), d’une paire d’électrodes (14, 16), d’un dispositif d’alimentation en gaz (20) et d’un dispositif d’irradiation au laser (22). Le dispositif d’alimentation en gaz (20) alimente une partie interne de la partie corps principal (12) en gaz traité. Une tension est appliquée sur les électrodes (14, 16), et une décharge électrique se produit entre les électrodes (14, 16), le gaz traité qui circule dans une partie interne d’une partie cylindrique (23) de la partie corps principal (12), étant ainsi changé en plasma. Par conséquent, un plasma provenant d’une ouverture d’une face extrémité de la partie cylindrique (23) côté opposé à la face extrémité côté couplage du dispositif d’irradiation au laser (22), est projeté dans la direction axiale de la partie cylindrique (23). En outre, le dispositif d’irradiation au laser (22) assure une irradiation à la lumière laser dans la direction axiale de la partie cylindrique (23). Il est donc possible de vérifier visuellement une position d’irradiation au plasma à l’aide de la lumière laser, et d’irradier au plasma de manière adéquate un objet à traiter.
(JA)本発明のプラズマ照射装置10は、本体部12と、1対の電極14,16と、ガス供給装置20と、レーザ照射装置22とを備えている。ガス供給装置20は、本体部12の内部に処理ガスを供給する。そして、電極14,16に電圧が印加され、電極14,16の間に放電が生じることで、本体部12の円筒部23の内部を流れる処理ガスがプラズマ化される。これにより、円筒部23のレーザ照射装置22が連結された側の端面と反対側の端面の開口からプラズマが、円筒部23の軸方向に噴出される。また、レーザ照射装置22は、円筒部23の軸方向にレーザ光を照射する。これにより、プラズマの照射位置をレーザ光によって目視にて確認することが可能となり、プラズマを適切に被処理体に照射することが可能となる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)