Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2016198895) ÉLÉMENT À FILMS MINCES PIÉZOÉLECTRIQUES

Pub. No.:    WO/2016/198895    International Application No.:    PCT/GB2016/051741
Publication Date: Fri Dec 16 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Sat Jun 11 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 41/04
H01L 41/08
H01L 41/09
B41J 2/14
H01L 41/083
Applicants: XAAR TECHNOLOGY LIMITED
Inventors: MARDILOVICH, Peter
TROLIER-MCKINSTRY, Susan
SIVARAMAKRISHNAN, Subramanian
Title: ÉLÉMENT À FILMS MINCES PIÉZOÉLECTRIQUES
Abstract:
L'invention concerne un élément à films minces piézoélectriques (20) comprenant une première électrode (22), une seconde électrode (23) et un ou plusieurs films minces piézoélectriques entre elles, l'élément à films minces comportant au moins deux éléments parmi : • un agencement d'électrodes dans lequel des électrodes sont agencées avec lesdits un ou plusieurs films minces piézoélectriques de manière qu'un champ électrique appliqué à un film mince piézoélectrique ou une partie d'un film mince piézoélectrique adjacent à la première électrode soit inférieur à un champ électrique appliqué à un film mince piézoélectrique ou une partie d'un film mince piézoélectrique plus éloigné de la première électrode quand l'élément à films minces piézoélectriques est actionné ; • un film mince piézoélectrique adjacent à la première électrode dans lequel une couche du film mince piézoélectrique proche de la première électrode possède une constante de déplacement piézoélectrique qui est inférieure à celle d'une couche du film mince piézoélectrique plus éloignée de la première électrode ; et • un film mince piézoélectrique adjacent à la première électrode dans lequel une couche du film mince piézoélectrique proche de la première électrode possède un module d'élasticité qui est inférieur à celui d'une couche du film mince piézoélectrique plus éloignée de la première électrode.