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1. (WO2016152027) PROCÉDÉ DE PURIFICATION DE GAZ ARGON ET PROCÉDÉ DE PURIFICATION PAR RÉCUPÉRATION DE GAZ ARGON

Pub. No.:    WO/2016/152027    International Application No.:    PCT/JP2016/000988
Publication Date: Fri Sep 30 01:59:59 CEST 2016 International Filing Date: Thu Feb 25 00:59:59 CET 2016
IPC: C01B 23/00
C30B 29/06
Applicants: SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD.
信越半導体株式会社
Inventors: KUROSAWA, Yasushi
黒澤 靖志
MATSUSHIMA, Hideaki
松嶋 秀明
Title: PROCÉDÉ DE PURIFICATION DE GAZ ARGON ET PROCÉDÉ DE PURIFICATION PAR RÉCUPÉRATION DE GAZ ARGON
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de purification de gaz argon qui ajoute de l'oxygène à du gaz argon qui comprend de l'hydrogène, du monoxyde de carbone, et de l'oxygène comme impuretés et qui convertit l'hydrogène et le monoxyde de carbone en eau et dioxyde de carbone dans une colonne de catalyseur, ou qui ajoute de l'hydrogène et qui convertit l'oxygène en eau. Ce procédé de purification de gaz argon est caractérisé en ce que le procédé comprend : une étape de surveillance de l'hydrogène, du monoxyde de carbone, et de l'oxygène sur un côté sortie de la colonne de catalyseur ; au moins l'une parmi une étape d'addition d'oxygène au gaz argon si soit l'hydrogène soit le monoxyde de carbone est détecté sur le côté sortie de la colonne de catalyseur, et une étape d'addition d'hydrogène si de l'oxygène est détecté. Le gaz argon est continuellement alimenté dans la colonne de catalyseur tandis que l'addition d'oxygène et d'hydrogène à la colonne de catalyseur est effectuée par intermittence. En résultat, par l'addition d'oxygène et d'hydrogène par intermittence au niveau du gaz argon qui comprend de l'hydrogène, du monoxyde de carbone, et de l'oxygène comme impuretés, le procédé de purification du gaz argon ne nécessite pas de colonne métallique pour retirer l'oxygène et l'hydrogène en excès, réduisant les coûts d'équipement et les dysfonctionnements.