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1. WO2016117815 - APPAREIL DE DÉPÔT SOUS VIDE POUR OLED DE TYPE ALTERNATIF

Numéro de publication WO/2016/117815
Date de publication 28.07.2016
N° de la demande internationale PCT/KR2015/012547
Date du dépôt international 20.11.2015
CIB
H01L 51/56 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
51Dispositifs à l'état solide qui utilisent des matériaux organiques comme partie active, ou qui utilisent comme partie active une combinaison de matériaux organiques et d'autres matériaux; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
50spécialement adaptés pour l'émission de lumière, p.ex. diodes émettrices de lumière organiques (OLED) ou dispositifs émetteurs de lumière à base de polymères (PLED)
56Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H01L 21/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
CPC
H01L 21/02
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
H01L 21/677
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
H01L 51/56
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
51Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof
50specially adapted for light emission, e.g. organic light emitting diodes [OLED] or polymer light emitting devices [PLED]
56Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices or of parts thereof
Déposants
  • 김규태 KIM, Kyu Tae [KR]/[KR]
Inventeurs
  • 김규태 KIM, Kyu Tae
Mandataires
  • 모효신 MO, Hyo Sin
Données relatives à la priorité
10-2015-001101023.01.2015KR
Langue de publication coréen (KO)
Langue de dépôt coréen (KO)
États désignés
Titre
(EN) RECIPROCATING-TYPE OLED VACUUM DEPOSITION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DÉPÔT SOUS VIDE POUR OLED DE TYPE ALTERNATIF
(KO) 왕복형 OLED 진공 증착기
Abrégé
(EN)
Disclosed is a reciprocating-type deposition system for producing an OLED panel. The deposition system comprises: a buffer capable of storing an OLED substrate; a plurality of alignment apparatuses which are located in the upper part to receive substrates from the buffer and which can be operated independently from each other; a transport system located in the upper part to transport the substrate to the buffer, plurality of alignment apparatuses and buffer for the next process; a linear evaporation source, located in the lower part, for uniformly depositing during linear reciprocal movements; a rail, located in the lower part, for creating a pathway for the linear evaporation source; and a vacuum chamber system comprising the plurality of alignment apparatuses, transport system, linear evaporation source and rail. By eliminating a cluster from a deposition system utilizing precise alignment apparatuses, the the present invention obviates the need for a central transport robot to correct a substrate angle for each deposition apparatus, thereby simplifying the system and optimizing the installation space.
(FR)
L'invention concerne un système de dépôt de type alternatif pour produire un panneau à OLED. Le système de dépôt comprend : un tampon capable de stocker un substrat d'OLED; une pluralité d'appareils d'alignement qui sont situés dans la partie supérieure pour recevoir des substrats à partir du tampon et qui peuvent être actionnés indépendamment les uns des autres; un système de transport situé dans la partie supérieure servant à transporter le substrat jusqu'au tampon, une pluralité d'appareils d'alignement et un tampon pour le processus suivant; une source d'évaporation linéaire, située dans la partie inférieure, permettant d'effectuer un dépôt uniforme pendant des mouvements alternatifs linéaires; un rail, situé dans la partie inférieure, permettant créer un passage pour la source d'évaporation linéaire; et un système de chambre à vide comprenant la pluralité d'appareils d'alignement, le système de transport, la source d'évaporation linéaire et le rail. En éliminant un groupe d'un système de dépôt utilisant un alignement précis des appareils, la présente invention supprime la nécessité de la correction, par un robot de transport central, d'un angle de substrat pour chaque appareil de dépôt, ce qui simplifie le système et optimise l'espace d'installation.
(KO)
본 발명은 OLED 패널을 제조하기 위한 왕복형 증착 시스템을 개시한다. 상기 증착 시스템은 OLED 기판을 보관할수 있는 버퍼와 상부에 위치하여 상기 버퍼로 부터 기판을 공급받아서 서로 독립적으로 운영될 수 있는 복수의 정렬기들과 상부에 위치하여 버퍼와 복수의 정렬기들과 다음 공정용 버퍼에 기판을 이송시키는 이송 시스템과 하부에 위치하여 왕복 선형운동시 균일하게 증착을 수행하기 위한 선형 증발원과 하부에 위치하여 상기 선형 증발원의 이동경로를 만들어 주는 레일과 복수의 정렬기들과 이송 시스템과 선형 증발원과 레일을 포함하는 진공 챔버 시스템이 배치된 것을 특징으로 한다. 본 발명은 정밀 정렬기를 사용하는 증착 시스템에서 클러스터를 제거하므로써 중심 이송 로봇에 의한 개별 증착기에 기판 각도의 보정이 필요없으므로 시스템이 간략화되고 설치 공간을 최적화할 수 있게 한다.
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