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1. WO2016063325 - MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE

Numéro de publication WO/2016/063325
Date de publication 28.04.2016
N° de la demande internationale PCT/JP2014/077811
Date du dépôt international 20.10.2014
CIB
H01J 37/18 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
18Fermetures étanches
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
CPC
H01J 2237/022
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
02Details
022Avoiding or removing foreign or contaminating particles, debris or deposits on sample or tube
H01J 2237/06341
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
063Electron sources
06325Cold-cathode sources
06341Field emission
H01J 2237/1825
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
18Vacuum control means
182Obtaining or maintaining desired pressure
1825Evacuating means
H01J 2237/2806
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
28Scanning microscopes
2803characterised by the imaging method
2806Secondary charged particle
H01J 37/073
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
073Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
H01J 37/18
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
18Vacuum locks ; ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Déposants
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 揚村 寿英 AGEMURA Toshihide
  • 笹氣 正司 SASAKI Masashi
  • 小林 大祐 KOBAYASHI Daisuke
  • 佐藤 俊輔 SATO Shunsuke
Mandataires
  • 平木 祐輔 HIRAKI Yusuke
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 走査電子顕微鏡
Abrégé
(EN)
The purpose of the present invention is to be able to acquire high-resolution images in a scanning electron microscope using a combination of a cold cathode (CFE) electron source and a boosting process, even at low accelerating voltage enhancing the current stability of the CFE electron source. A configuration in which a CFE electron source (101), an anode electrode (103) at positive (+) potential, and an insulator (104) for isolating the anode electrode (103) from ground potential are accommodated within a single vacuum chamber (105), and an ion pump (106) and a non-evaporable getter (NEG) pump (107) are connected to the vacuum chamber (105), is employed.
(FR)
L'objectif de la présente invention est de pouvoir acquérir des images à haute résolution dans un microscope électronique à balayage à l'aide d'une combinaison d'une source d'électrons à cathode froide (CFE) et d'un procédé d'amplification, même à une basse tension d'accélération améliorant la stabilité de courant de la source d'électrons CFE. Une configuration dans laquelle une source d'électrons CFE (101), une électrode d'anode (103) au potentiel positif (+) et un isolateur (104) pour isoler l'électrode d'anode (103) par rapport à un potentiel de masse sont logés à l'intérieur d'une chambre à vide unique (105), et une pompe ionique (106) et une pompe à getter non-évaporable (NEG) (107) sont reliées à la chambre à vide (105), est utilisée.
(JA)
冷陰極型(CFE)電子源とブースティング法を組み合わせて使用する走査電子顕微鏡において、CFE電子源の電流安定性を高めて低加速電圧においても高分解能の画像を取得できるようにする。 CFE電子源(101)と正(+)電位のアノード電極(103)と当該電極(103)を接地電位から分離する絶縁体(104)とを単一の真空チャンバ(105)に収容するとともに、当該真空チャンバ(105)にイオンポンプ(106)と非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ(107)を接続する構成を採用する。
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