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1. (WO2016002901) COMPOSITION DE FORMATION DE COUCHE DE PASSIVATION, SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR À COUCHE DE PASSIVATION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR À COUCHE DE PASSIVATION, ÉLÉMENT DE CELLULE SOLAIRE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT DE CELLULE SOLAIRE, ET CELLULE SOLAIRE

Pub. No.:    WO/2016/002901    International Application No.:    PCT/JP2015/069192
Publication Date: Fri Jan 08 00:59:59 CET 2016 International Filing Date: Fri Jul 03 01:59:59 CEST 2015
IPC: H01L 31/0216
H01L 21/316
Applicants: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
日立化成株式会社
Inventors: HAYASAKA, Tsuyoshi
早坂 剛
YOSHIDA, Masato
吉田 誠人
NOJIRI, Takeshi
野尻 剛
KURATA, Yasushi
倉田 靖
TANAKA, Tooru
田中 徹
MORISHITA, Masatoshi
森下 真年
KODAMA, Shunsuke
児玉 俊輔
Title: COMPOSITION DE FORMATION DE COUCHE DE PASSIVATION, SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR À COUCHE DE PASSIVATION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR À COUCHE DE PASSIVATION, ÉLÉMENT DE CELLULE SOLAIRE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT DE CELLULE SOLAIRE, ET CELLULE SOLAIRE
Abstract:
L'invention concerne une première composition de formation d'une couche de passivation, qui contient un composé représenté par la formule générale (I) et de l'eau ; et une seconde composition de formation d'une couche de passivation, qui contient un produit d'hydrolyse d'un composé représenté par la formule générale (I). M(OR1)m formule générale (I) (Dans la formule générale (I), M représente au moins une substance choisie dans le groupe constitué par Al, Nb, Ta, VO, Y et Hf ; chaque R1 représente indépendamment un groupe alkyle ou un groupe aryle ; et m représente un nombre entier de 1 à 5.)