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1. (WO2016000764) SYSTÈME DE DÉTECTION CONFOCAL CHROMATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2016/000764 N° de la demande internationale : PCT/EP2014/063968
Date de publication : 07.01.2016 Date de dépôt international : 01.07.2014
CIB :
G01B 11/25 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.[DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
ROBERT BOSCH GMBH[DE/DE]; Wernerstraße 51 70469 Stuttgart-Feuerbach, DE
Inventeurs : TAPHANEL, Miro; DE
ZINK, Ralf; DE
Mandataire : PFENNING, MEINIG & PARTNER MBB; Theresienhöhe 13 80339 München, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CHROMATIC CONFOCAL SENSOR ARRANGEMENT
(FR) SYSTÈME DE DÉTECTION CONFOCAL CHROMATIQUE
(DE) CHROMATISCH KONFOKALE SENSORANORDNUNG
Abrégé : front page image
(EN) Chromatic confocal sensor arrangement for optically determining the surface geometry of a three dimensional sample (P), having a dispersive, optical illumination arrangement (4) positioned in the illumination beam bath (2B) of the sensor arrangement that focuses the light of a polychromatic illumination device (1) onto a focus line surface (x,y=0,z), wherein the sample (P) is positioned or positionable in the space (x,y,z) such that its surface z(x,y) intersects the focus line surface (x,y=0,z) along a contour intersection path zy=0(x), and an optical imaging arrangement (6) positioned in the imaging beam path (2A) of the sensor arrangement with which light reflected from the sample (P) can be imaged onto a light detector unit (8) such that for each position (x) along the contour intersection path zy=0(x) only the wavelength λz(x) that corresponds to the height (z) of the intersection point of the sample surface with the focus line surface at this position (x) is imaged in a focused manner onto the light detector unit (8), characterized in that n different illumination spectra Ii(λ), where i=1,…, n, can be thus produced with the illumination device (1) and focused on the focus line surface (x,y=0,z) by means of the optical illumination arrangement (4) such that a number (n) of information spectral values, also referred to as n-dimensional color coordinate in the following, that are equivalent to the number (n) of different illumination spectra can be captured by the light detector unit (8) for each position (x) along the contour intersection path zy=0(x).
(FR) L'invention concerne un système de détection confocal chromatique servant à la détermination optique de la géométrie de surface d'un échantillon tridimensionnel (P), comprenant un système optique d'éclairage (4) dispersif, placé sur le chemin optique d'éclairage (2B) du système de détection et focalisant la lumière d'une unité d'éclairage polychromatique (1) sur une surface des lignes focales (x,y=0,z). L'échantillon (P) est ou peut être positionné dans l'espace (x, y, z) de telle manière que sa surface z(x, y) coupe la surface des lignes focales (x,y=0,z) sur une trajectoire d'intersection des lignes de hauteur zy=0(x). Un système optique de reproduction (6) placé sur le chemin optique de reproduction (2A) du système de détection permet de reproduire sur une unité de détection de lumière (8) la lumière renvoyée par l'échantillon (P) de telle manière que, pour chaque position locale (x) sur la trajectoire d'intersection des lignes de hauteur zy=0(x), seule la longueur d'onde λz(x) qui correspond à la hauteur (z) du point d'intersection entre la surface de l'échantillon et la surface des lignes focales en cette position locale (x) est reproduite focalisée sur l'unité de détection de lumière (8). Selon l'invention, n spectres d'éclairage différents Ii(λ) (i=1,…,n) peuvent être produits par l'unité d'éclairage (1) et focalisés par le système optique d'éclairage (4) sur la surface des lignes focales (x,y=0,z) de telle manière qu'un nombre (n) de valeurs d'information spectrales (également appelées n coordonnées chromatiques dimensionnelles) égal au nombre (n) de spectres d'éclairage différents peut être détecté par l'unité de détection de lumière (8) pour chaque position locale (x) sur la trajectoire d'intersection des lignes de hauteur zy=0(x).
(DE) Chromatisch konfokale Sensoranordnung zum optischen Bestimmen der Oberflächengeometrie einer dreidimensionalen Probe (P), mit einer im Beleuchtungsstrahlengang (2B) der Sensoranordnung positionierten, dispersiven, das Licht einer polychromatischen Beleuchtungseinheit (1) auf eine Fokuslinienfläche (x,y=0,z) fokussierenden optischen Beleuchtungsanordnung (4), wobei die Probe (P) so im Raum (x,y,z) positionierbar ist oder positioniert ist, dass ihre Oberfläche z(x,y) die Fokuslinienfläche (x,y=0,z) entlang eines Höhenlinienschnittweges zy=0(x) schneidet, und einer im Abbildungsstrahlengang (2A) der Sensoranordnung positionierten, abbildenden optischen Anordnung (6), mit der von der Probe (P) zurückgeworfenes Licht so auf eine Lichterfassungseinheit (8) abbildbar ist, dass für jede Ortsposition (x) entlang des Höhenlinienschnittweges zy=0(x) lediglich diejenige Wellenlänge λz(x), die der Höhe (z) des Schnittpunkts der Probenoberfläche mit der Fokuslinienfläche an dieser Ortsposition (x) entspricht, fokussiert auf die Lichterfassungseinheit (8) abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass n unterschiedliche Beleuchtungsspektren Ii(λ) mit i=1,…,n mit der Beleuchtungseinheit (1) so erzeugbar und mittels der optischen Beleuchtungsanordnung (4) auf die Fokuslinienfläche (x,y=0,z) fokussierbar sind, dass mit der Lichterfassungseinheit (8) für jede Ortsposition (x) entlang des Höhenlinienschnittweges zy=0(x) eine der Anzahl (n) unterschiedlicher Beleuchtungsspektren gleichende Anzahl (n) an spektralen Informationswerten, nachfolgend auch als n-dimensionale Farbkoordinate bezeichnet, erfassbar ist.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)