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1. (WO2015172816) SYSTÈME DE CONTRÔLE DE L'ORIENTATION D'UN FAISCEAU LASER ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN RAYONNEMENT EUV ÉQUIPÉ DUDIT DISPOSITIF
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N° de publication : WO/2015/172816 N° de la demande internationale : PCT/EP2014/059742
Date de publication : 19.11.2015 Date de dépôt international : 13.05.2014
CIB :
B23K 26/04 (2014.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
K
BRASAGE OU DÉBRASAGE; SOUDAGE; REVÊTEMENT OU PLACAGE PAR BRASAGE OU SOUDAGE; DÉCOUPAGE PAR CHAUFFAGE LOCALISÉ, p.ex. DÉCOUPAGE AU CHALUMEAU; TRAVAIL PAR RAYON LASER
26
Travail par rayon laser, p.ex. soudage, découpage, perçage
02
Mise en place ou surveillance des pièces, p.ex. par rapport au point d'impact; Alignement, pointage ou focalisation du faisceau laser
04
Alignement, visée ou focalisation automatique du faisceau laser, p.ex. en utilisant la lumière diffusée en retour
Déposants :
TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH [DE/DE]; Johann-Maus-Strasse 2 71254 Ditzingen, DE
Inventeurs :
LAMBERT, Martin; DE
ENZMANN, Andreas; DE
Mandataire :
KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE; Ruppmannstr. 27 70565 Stuttgart, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (DE) EINRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG DER AUSRICHTUNG EINES LASERSTRAHLS UND EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG DAMIT
(EN) DEVICE FOR MONITORING THE ORIENTATION OF A LASER BEAM AND EUV RADIATION-GENERATING DEVICE COMPRISING SAME
(FR) SYSTÈME DE CONTRÔLE DE L'ORIENTATION D'UN FAISCEAU LASER ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION D'UN RAYONNEMENT EUV ÉQUIPÉ DUDIT DISPOSITIF
Abrégé :
(DE) Die Erfindung betrifft eine Einrichtung (20) zur Überwachung der Ausrichtung eines Laserstrahls (5), umfassend: einen Detektor (21) mit einer Öffnung (22) zum Durchtritt des Laserstrahls (5), mindestens zwei Temperatursensoren (24a, b), die an dem Detektor (21) angebracht sind, sowie eine Temperaturüberwachungseinrichtung (23), die mit den mindestens zwei Temperartursensoren (24a, b) verbunden ist, um die Ausrichtung des Laserstrahls (5) relativ zu der Öffnung (22) zu überwachen. Die mindestens zwei Temperatursensoren (24a, b) weisen entweder einen mit zunehmender Temperatur zunehmenden oder einen mit zunehmender Temperatur abnehmenden temperaturabhängigen Widerstand auf und die mindestens zwei Temperatursensoren (24a, b) sind mit der Temperaturüberwachungseinrichtung (23) in einer Reihenschaltung verbunden. Die Erfindung betrifft auch eine EUV- Strahlungserzeugungsvorrichtung (1), welche mindestens eine Einrichtung (20) wie oben beschrieben aufweist, um die Ausrichtung eines Laserstrahls (5) zu überwachen.
(EN) The invention relates to a device (20) for monitoring the orientation of a laser beam (5), comprising: a detector (21) with an opening (22) for the passage of the laser beam (5), at least two temperature sensors (24a, b) which are attached to the detector (21), and a temperature monitoring device (23) which is connected to the at least two temperature sensors (24a, b) in order to monitor the orientation of the laser beam (5) relative to the opening (22). The at least two temperature sensors (24a, b) have a temperature-dependent resistance which either increases as the temperature increases or which decreases as the temperature increases, and the at least two temperature sensors (24a, b) are connected to the temperature monitoring device (23) in a series circuit. The invention also relates to an EUV radiation-generating device (1) which has at least one device (20) as described above in order to monitor the orientation of a laser beam (5).
(FR) L'invention concerne un système (20) destiné à contrôler l'orientation du faisceau laser (5), comprenant : un détecteur (21) pourvu d'une ouverture (22) pour le passage du faisceau laser (5), au moins deux capteurs de température (24a, b), qui sont montés sur le détecteur (21), ainsi qu'un dispositif de surveillance de température (23), qui est relié auxdits au moins deux capteurs de température (24a, b), afin de contrôler l'orientation du rayon laser (5) par rapport à l'ouverture (22). Lesdits au moins deux capteurs de température (24a, b) présentent une résistance dépendant de la température, qui soit augmente à mesure que la température augmente soit diminue à mesure que la température augmente, et lesdits au moins deux capteurs de température (24a, b) sont reliés au dispositif de surveillance de température (23) par un montage en série. L'invention concerne également un dispositif de génération de rayonnement EUV (1), lequel comprend au moins un système (20) tel que celui décrit ci-dessus, permettant de contrôler l'orientation d'un rayon laser (5).
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)
Also published as:
EP3142823