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1. (WO2015123467) PROCÉDÉ HIÉRARCHIQUE BASÉ SUR UNE TRANCHE ET UN LOT COMBINANT DES MESURES PERSONNALISÉES AVEC UNE MÉTHODOLOGIE DE CLASSIFICATION GLOBALE POUR SURVEILLER UN ÉTAT D'OUTIL DE TRAITEMENT À TRÈS HAUT DÉBIT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2015/123467 N° de la demande internationale : PCT/US2015/015709
Date de publication : 20.08.2015 Date de dépôt international : 12.02.2015
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive, Milpitas Milpitas, California 95035, US
Inventeurs : VAJARIA, Himanshu; US
TORELLI, Tommaso; US
RIES, Bradley; US
MAHADEVAN, Mohan; US
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; US
Données relatives à la priorité :
14/209,19813.03.2014US
61/939,73914.02.2014US
Titre (EN) WAFER AND LOT BASED HIERARCHICAL METHOD COMBINING CUSTOMIZED METRICS WITH A GLOBAL CLASSIFICATION METHODOLOGY TO MONITOR PROCESS TOOL CONDITION AT EXTREMELY HIGH THROUGHPUT
(FR) PROCÉDÉ HIÉRARCHIQUE BASÉ SUR UNE TRANCHE ET UN LOT COMBINANT DES MESURES PERSONNALISÉES AVEC UNE MÉTHODOLOGIE DE CLASSIFICATION GLOBALE POUR SURVEILLER UN ÉTAT D'OUTIL DE TRAITEMENT À TRÈS HAUT DÉBIT
Abrégé :
(EN) Methods and systems for monitoring process tool conditions are disclosed. The method combines single wafer, multiple wafers within a single lot and multiple lot information together statistically as input to a custom classification engine that can consume single or multiple scan, channel, wafer and lot to determine process tool status.
(FR) L'invention concerne des procédés et des systèmes permettant de surveiller des états d'outil de traitement. Le procédé combine conjointement une seule tranche, de multiples tranches dans un seul lot et de multiples informations de lot statistiquement sous la forme d'une entrée à un moteur de classification personnalisée qui peut utiliser un ou plusieurs balayages, canaux, tranches et lots pour déterminer l'état d'un outil de traitement.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)