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1. (WO2015111310) FEUILLE ADHÉSIVE POUR LA PROTECTION DE PLAQUETTE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/111310    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/082017
Date de publication : 30.07.2015 Date de dépôt international : 03.12.2014
CIB :
H01L 21/301 (2006.01), C09J 4/02 (2006.01), C09J 7/02 (2006.01), C09J 133/00 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 23-23, Honcho, Itabashi-ku, Tokyo 1730001 (JP)
Inventeurs : ENOKI, Sayaka; (JP).
MORITA, Yuki; (JP)
Mandataire : OHTANI, Tamotsu; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-008731 21.01.2014 JP
Titre (EN) ADHESIVE SHEET FOR WAFER PROTECTION
(FR) FEUILLE ADHÉSIVE POUR LA PROTECTION DE PLAQUETTE
(JA) ウエハ保護用粘着シート
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an adhesive sheet for wafer protection (1a), which comprises a base (11), an intermediate layer (12) and an adhesive layer (13) in this order, and wherein: the intermediate layer is formed from an intermediate layer-forming composition that contains 100 parts by mass of a non-energy ray-curable acrylic polymer (A) and 25 parts by mass or more of an energy ray-curable acrylic polymer (B) having a mass average molecular weight of from 50,000 to 250,000; and the adhesive layer is formed from an adhesive composition that contains an energy ray-curable acrylic polymer (C). Since this adhesive sheet for wafer protection has excellent adhesion between the intermediate layer and the adhesive layer after irradiation of an energy ray, adherence of a residue of the adhesive layer to an object to be bonded can be suppressed if the adhesive sheet is released from the object again after the bonding. This adhesive sheet for wafer protection exhibits excellent followability to an object to be bonded that has a wafer surface having recesses and projections with large differences, and is small in change of the adhesive force even after long-term storage, thereby exhibiting excellent long-term stability.
(FR)L'invention concerne une feuille adhésive pour la protection de plaquette (1a), qui comprend une base (11), une couche intermédiaire (12) et une couche adhésive (13) dans cet ordre. La couche intermédiaire est formée à partir d'une composition de formation de couche intermédiaire qui contient 100 parties en masse d'un polymère acrylique non durcissable par rayonnement d'énergie (A) et 25 parties en masse ou plus d'un polymère acrylique durcissable par rayonnement d'énergie (B) ayant un poids moléculaire moyen en masse de 50 000 à 250 000 ; et la couche adhésive est formée à partir d'une composition adhésive qui contient un polymère acrylique durcissable par rayonnement d'énergie (C). Étant donné que cette feuille adhésive pour la protection de plaquette présente une excellente adhésion entre la couche intermédiaire et la couche adhésive après exposition à un rayonnement d'énergie, l’adhérence d'un résidu de la couche adhésive à un objet à coller peut être supprimée si la feuille adhésive est détachée de l'objet de nouveau après le collage. Cette feuille adhésive pour la protection de plaquette présente une excellente adaptabilité à un objet à coller qui présente une surface de plaquette ayant des renfoncements et des protubérances de grandes différences, et présente peu de changement de la force adhésive même après un stockage sur un long terme, présentant ainsi une excellente stabilité à long terme.
(JA)基材(11)、中間層(12)、及び粘着剤層(13)をこの順で有し、前記中間層が、非エネルギー線硬化性のアクリル系重合体(A)100質量部、及び質量平均分子量が5万~25万のエネルギー線硬化性のアクリル系重合体(B)25質量部以上を含む中間層形成用組成物から形成された層であり、前記粘着剤層が、エネルギー線硬化型のアクリル系重合体(C)を含む粘着剤組成物から形成さた層である、ウエハ保護用粘着シート(1a)を提供する。当該ウエハ保護用粘着シートは、エネルギー線照射後の中間層と粘着剤層との密着性に優れるため、被着体に貼付後に再剥離する際に、被着体への粘着剤層の残渣の付着を抑制し得、ウエハ表面の凹凸の差が大きい被着体に対しても優れた追従性を有し、且つ、長期間保管しても粘着力の変化率が小さく優れた経時安定性を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)