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1. (WO2015109678) RÉSEAU PLAN-FOCAL NON REFROIDI POUR IMAGERIE INFRAROUGE (IR) ET TÉRAHERTZ (THZ)
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/109678    N° de la demande internationale :    PCT/CN2014/076239
Date de publication : 30.07.2015 Date de dépôt international : 25.04.2014
CIB :
G01J 5/02 (2006.01), G01J 5/38 (2006.01), B81B 7/02 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01)
Déposants : YU, Xiaomei [CN/CN]; (CN)
Inventeurs : YU, Xiaomei; (CN).
MA, Wei; (CN).
WEN, Yongzheng; (CN).
WANG, Shuyang; (CN)
Données relatives à la priorité :
201410032762.X 22.01.2014 CN
Titre (EN) UNCOOLED FOCAL PLANE ARRAY FOR IR AND THZ IMAGING
(FR) RÉSEAU PLAN-FOCAL NON REFROIDI POUR IMAGERIE INFRAROUGE (IR) ET TÉRAHERTZ (THZ)
Abrégé : front page image
(EN)An uncooled focal plane array (FPA) for imaging at full-band infrared and terahertz regime is provided. The FPA utilizes bimaterial cantilever array as the pixels (101) and are fabricated on a visible light transparent substrate (103). The bimaterail cantilever (101) comprises an absorber (102), two bimaterial legs (202), two thermal isolation legs (203), two anchors (102), and a mirror. The radiation to be detected casts on the front side of bimaterial cantilevers (101), while the transparent substrate (103) is illuminated by visible light to readout the deformation of the bimaterial cantilevers (101) caused by the energy absorption by the absorber (102). The FPA is fabricated by surface sacrificial layer processes, especially by using metamaterial to enhance the function of the absorber and polyimide as the sacrificial layer. The advantages of the uncooled focal plane array include multiband work,high sensitivity and resolution, good reliability and uniformity, low cost and easy fabrication.
(FR)La présente invention porte sur un réseau plan-focal (FPA) non refroidi pour imagerie à un régime térahertz (THz) et infrarouge (IR) de bande totale. Le FPA utilise un réseau de porte-à-faux bimatières du fait que les pixels (101) sont fabriqués sur un substrat (103) transparent vis-à-vis de la lumière visible. Le porte-à-faux (101) bimatière comprend un absorbeur (102), deux jambes bimatières (202), deux jambes d'isolation thermique (203), deux ancrages (102) et un miroir. Le rayonnement à détecter frappe le côté avant de porte-à-faux (101) bimatières, alors que le substrat (103) transparent est éclairé par une lumière visible pour lire la déformation des porte-à-faux (101) bimatières due à l'absorption d'énergie par l'absorbeur (102). Le FPA est fabriqué par des traitements de couche sacrificielle de surface, en particulier à l'aide de métamatière pour améliorer la fonction de l'absorbeur et de polyimide en tant que couche sacrificielle. Les avantages du réseau plan-focal non refroidi comprennent un travail multibande, une sensibilité et une résolution élevées, une fiabilité et une uniformité bonnes, un faible coût et une fabrication aisée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)