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1. WO2015095613 - CAPTEUR À FAIBLE BRUIT, ET SYSTÈME DE CONTRÔLE UTILISANT UN CAPTEUR À FAIBLE BRUIT

Numéro de publication WO/2015/095613
Date de publication 25.06.2015
N° de la demande internationale PCT/US2014/071312
Date du dépôt international 18.12.2014
CIB
H04N 5/335 2011.01
HÉLECTRICITÉ
04TECHNIQUE DE LA COMMUNICATION ÉLECTRIQUE
NTRANSMISSION D'IMAGES, p.ex. TÉLÉVISION
5Détails des systèmes de télévision
30Transformation d'informations lumineuses ou analogues en informations électriques
335utilisant des capteurs d'images à l'état solide  
G01M 11/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
CPC
G01N 2021/95676
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
95676Masks, reticles, shadow masks
G01N 21/8851
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
G01N 21/9501
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9501Semiconductor wafers
G01N 21/956
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
956Inspecting patterns on the surface of objects
H01L 27/14636
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
14including semiconductor components sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
144Devices controlled by radiation
146Imager structures
14601Structural or functional details thereof
14636Interconnect structures
H01L 31/02
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
31Semiconductor devices sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
02Details
Déposants
  • KLA-TENCOR CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • BROWN, David, L.
  • CHUANG, Yung-Ho
  • FIELDEN, John
Mandataires
  • MCANDREWS, Kevin
Données relatives à la priorité
14/273,42408.05.2014US
61/918,10819.12.2013US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) A LOW-NOISE SENSOR AND AN INSPECTION SYSTEM USING A LOW-NOISE SENSOR
(FR) CAPTEUR À FAIBLE BRUIT, ET SYSTÈME DE CONTRÔLE UTILISANT UN CAPTEUR À FAIBLE BRUIT
Abrégé
(EN)
A method of inspecting a sample at high speed includes directing and focusing radiation onto a sample, and receiving radiation from the sample and directing received radiation to an image sensor. Notably, the method includes driving the image sensor with predetermined signals. The predetermined signals minimize a settling time of an output signal of the image sensor. The predetermined signals are controlled by a phase accumulator, which is used to select look-up values. The driving can further include loading an initial phase value, selecting most significant bits of the phase accumulator, and converting the look-up values to an analog signal. In one embodiment, for each cycle of a phase clock, a phase increment can be added to the phase accumulator. The driving can be performed by a custom waveform generator.
(FR)
Un procédé de contrôle d'un échantillon à grande vitesse consiste à diriger et à focaliser un rayonnement sur un échantillon, et à recevoir un rayonnement de l'échantillon et à diriger le rayonnement reçu vers un capteur d'image. Le procédé consiste à commander le capteur d'image avec des signaux prédéterminés. Les signaux prédéterminés minimisent un temps de pause d'un signal de sortie du d'image. Les signaux prédéterminés sont contrôlés par un accumulateur de phases qui est utilisé pour sélectionner des valeurs de recherche. La commande peut consister également à : charger une valeur de phase initiale, sélectionner des bits les plus significatifs de l'accumulateur de phases, et convertir les valeurs de recherche en un signal analogique. Dans un mode de réalisation, pour chaque cycle d'une horloge de phase, un incrément de phase peut être ajouté à l'accumulateur de phases. La commande peut être exécutée par un générateur de forme d'onde personnalisée.
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