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1. WO2015094382 - APPAREIL D'ANALYSEUR DE MASSE DE BOBINE DE CULASSE EN FORME DE C PERMETTANT DE SÉPARER DES ESPÈCES IONIQUES SOUHAITÉES DES ESPÈCES IONIQUES NON SOUHAITÉES DANS DES FAISCEAUX IONIQUES EN RUBAN AYANT UNE LARGEUR ARBITRAIRE

Numéro de publication WO/2015/094382
Date de publication 25.06.2015
N° de la demande internationale PCT/US2014/000217
Date du dépôt international 26.11.2014
CIB
H01J 3/20 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
3Détails des dispositifs électronoptiques ou ionoptiques ou des pièges à ions, communs au moins à deux types de base de tubes ou de lampes à décharge
14Dispositifs pour la focalisation ou la réflexion du rayon ou du faisceau
20Lentilles magnétiques
CPC
H01J 2237/055
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
05Arrangements for energy or mass analysis
055magnetic
H01J 2237/057
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
05Arrangements for energy or mass analysis
057Energy or mass filtering
H01J 37/05
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
05Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy ; or mass
H01J 37/3171
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
317for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
3171for ion implantation
Déposants
  • WHITE, Nicholas, R. [US]/[US]
Inventeurs
  • WHITE, Nicholas, R.
Mandataires
  • PRASHKER, David
Données relatives à la priorité
61/963,98620.12.2013US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) C-SHAPED YOKE COIL MASS ANALYZER APPARATUS FOR SEPARATING DESIRED ION SPECIES FROM UNWANTED ION SPECIES IN RIBBON ION BEAMS OF ARBITRARY BREADTH
(FR) APPAREIL D'ANALYSEUR DE MASSE DE BOBINE DE CULASSE EN FORME DE C PERMETTANT DE SÉPARER DES ESPÈCES IONIQUES SOUHAITÉES DES ESPÈCES IONIQUES NON SOUHAITÉES DANS DES FAISCEAUX IONIQUES EN RUBAN AYANT UNE LARGEUR ARBITRAIRE
Abrégé
(EN)
The present invention is a C-shaped yoke-coil assembly which operates as a markedly improved mass analyzer device; and is able to achieve at least one identifiable modification (such as an effective separation of dissimilar charged ion species) in an adjacent traveling ribbon-shaped beam. The C-shaped yoke coil assembly offers a commercially useful resolving power; is far easier and less expensive to manufacture; and is quickly positioned, aligned, and operated in comparison to conventionally known mass analyzer devices.
(FR)
La présente invention se rapporte à un ensemble culasse-bobine en forme de C qui fonctionne comme dispositif d'analyseur de masse nettement amélioré ; et peut arriver à au moins une modification identifiable (telle qu'une séparation effective des espèces ioniques chargées dissemblables) dans un faisceau en forme de ruban adjacent. L'ensemble culasse-bobine en forme de C offre un pouvoir de résolution commercialement utile ; est beaucoup plus facile et moins cher à fabriquer ; et est rapidement positionné, aligné et mis en fonctionnement par comparaison avec des dispositifs d'analyseur de masse traditionnellement connus.
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