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1. WO2015023400 - MAGNÉTRON ENCAPSULÉ

Numéro de publication WO/2015/023400
Date de publication 19.02.2015
N° de la demande internationale PCT/US2014/047481
Date du dépôt international 21.07.2014
CIB
C23C 14/35 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
34Pulvérisation cathodique
35par application d'un champ magnétique, p.ex. pulvérisation au moyen d'un magnétron
CPC
H01J 23/05
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
23Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
02Electrodes; Magnetic control means; Screens
04Cathodes
05having a cylindrical emissive surface, e.g. cathodes for magnetrons
H01J 23/10
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
23Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
02Electrodes; Magnetic control means; Screens
10Magnet systems for directing or deflecting the discharge along a desired path, e.g. a spiral path
H01J 25/50
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
25Transit-time tubes, e.g. klystrons, travelling-wave tubes, magnetrons
50Magnetrons, i.e. tubes with a magnet system producing an H-field crossing the E-field
H01J 25/587
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
25Transit-time tubes, e.g. klystrons, travelling-wave tubes, magnetrons
50Magnetrons, i.e. tubes with a magnet system producing an H-field crossing the E-field
52with an electron space having a shape that does not prevent any electron from moving completely around the cathode or guide electrode
58having a number of resonators; having a composite resonator, e.g. a helix
587Multi-cavity magnetrons
H01J 37/3405
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3402using supplementary magnetic fields
3405Magnetron sputtering
H01J 37/345
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3411Constructional aspects of the reactor
345Magnet arrangements in particular for cathodic sputtering apparatus
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • WEST, Brian T.
  • JOHNSON, Roger M.
  • COX, Michael S.
Mandataires
  • PATTERSON, B. Todd
Données relatives à la priorité
61/866,02714.08.2013US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ENCAPSULATED MAGNETRON
(FR) MAGNÉTRON ENCAPSULÉ
Abrégé
(EN)
Embodiments of the present invention generally provide a magnetron that is encapsulated by a material that is tolerant of heat and water. The encapsulated magnetron is described above and in the attached appendix. In one embodiment, the entire magnetron is encapsulated. In another embodiment, the magnetron includes magnetic pole pieces, and the magnetic pole pieces are not covered by the encapsulating material.
(FR)
Des modes de réalisation de la présente invention concernent, d'une manière générale, un magnétron qui est encapsulé dans un matériau résistant à la chaleur et à l'eau. Le magnétron encapsulé est décrit ci-dessus et dans le descriptif. Dans un mode de réalisation, l'ensemble du magnétron est encapsulé. Dans un autre mode de réalisation, le magnétron comprend des pièces polaires magnétiques, et les pièces polaires magnétiques ne sont pas recouvertes par le matériau d'encapsulation.
Également publié en tant que
KR1020167006302
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international