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1. WO2014173961 - ÉTANCHÉITÉ DE L'INTERFACE ENTRE UNE POMPE À VIDE À ENTRÉES MULTIPLES ET LE BOÎTIER DANS LEQUEL LA POMPE EST INSÉRÉE

Numéro de publication WO/2014/173961
Date de publication 30.10.2014
N° de la demande internationale PCT/EP2014/058255
Date du dépôt international 23.04.2014
CIB
F04D 19/04 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
19Pompes à flux axial spécialement adaptées aux fluides compressibles
02Pompes multiétagées
04spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p.ex. pompes moléculaires
F04D 29/08 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
29Parties constitutives, détails ou accessoires
08Joints d'étanchéité
F04D 29/60 2006.01
FMÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
DPOMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
29Parties constitutives, détails ou accessoires
60Montage; Assemblage; Démontage
CPC
F04D 19/042
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
042Turbomolecular vacuum pumps
F04D 29/083
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
08Sealings
083especially adapted for elastic fluid pumps
F04D 29/601
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
60Mounting; Assembling; Disassembling
601specially adapted for elastic fluid pumps
Déposants
  • OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • BEYER, Christian
  • SCHNEIDERS, Robert
  • VEIT, Axel
Mandataires
  • VON KREISLER SELTING WERNER
Données relatives à la priorité
20 2013 003 855.125.04.2013DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) ABDICHTUNG DER SCHNITTSTELLE ZWISCHEN EINER MULTI-INLET- VAKUUMPUMPE UND DEM GEHÄUSE, IN DAS DIE PUMPE EINGESCHOBEN WIRD
(EN) SEALING OF THE INTERFACE BETWEEN A MULTI-INLET VACUUM PUMP AND THE HOUSING INTO WHICH THE PUMP IS INSERTED
(FR) ÉTANCHÉITÉ DE L'INTERFACE ENTRE UNE POMPE À VIDE À ENTRÉES MULTIPLES ET LE BOÎTIER DANS LEQUEL LA POMPE EST INSÉRÉE
Abrégé
(DE)
Eine Untersuchungseinrichtung wie beispielsweise ein Massenspektrometer weist mehrere, insbesondere in Reihe angeordnete Vakuumkammern (12, 14, 6, 18, 20, 22) auf. In einem Einrichtungsgehäuse (10) ist eine Einschubausnehmung (28) vorgesehen, in die eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe (30) einschiebbar ist. Zur Verbesserung der Dichtigkeit im Bereich von Zwischeneinlässen (56, 58, 60, 62) sind Dichtflächenpaare (70, 72) vorgesehen, die im Wesentlichen senkrecht zu einer Pumpenlängsachse (74) verlaufen.
(EN)
An analyzing device such as a mass spectrometer has a plurality of vacuum chambers (12, 14, 6, 18, 20, 22) in particular arranged in series. In a device housing (10) is provided an insertion recess (28) into which a multi-inlet vacuum pump (30) can be inserted. In order to improve the tightness in the region of intermediate inlets (56, 58, 60, 62), sealing surface pairs (70, 72) are provided which extend substantially perpendicularly relative to a pump longitudinal axis (74).
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'analyse, par exemple un spectromètre de masse, qui possède plusieurs chambres à vide (12, 14, 6, 18, 20, 22), en particulier disposées en rangée. Un boîtier du dispositif (10) comporte un évidement (28) qui permet d'y insérer une pompe à vide à entrées multiples (30). Dans le but d'améliorer l'étanchéité au niveau des entrées intermédiaires (56, 58, 60, 62), l'invention prévoit des paires de surfaces d'étanchéité (70, 72) qui s'étendent sensiblement perpendiculairement à un axe longitudinal (74) de la pompe.
Également publié en tant que
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