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1. (WO2014173136) PLATEAU ET APPAREIL D'USINAGE AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/173136    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/088980
Date de publication : 30.10.2014 Date de dépôt international : 10.12.2013
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : BEIJING NMC CO., LTD. [CN/CN]; NO.8 Wenchang Avenue Beijing Economic-Technological Development Area, Beijing 100176 (CN)
Inventeurs : BIAN, Guodong; (CN)
Mandataire : TEE&HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; Tianshu ZHANG 10th Floor, Tower D, Minsheng Financial Center, 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005 (CN)
Données relatives à la priorité :
201310152358.1 27.04.2013 CN
Titre (EN) PALLET AND PLASMA MACHINING APPARATUS
(FR) PLATEAU ET APPAREIL D'USINAGE AU PLASMA
(ZH) 托盘及等离子体加工设备
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are a pallet (10) and a plasma machining apparatus. The pallet (10) is used for bearing a machined work-piece (14), and adjusting the temperature of the machined work-piece (14) by means of a heat exchange gas, wherein at least one bearing region of the machined work-piece is formed on the upper surface of the pallet (10); the shape and size of each bearing region of the machined work-piece are corresponding to the machined work-piece (14) to be borne; at least one recess (11) which is recessed towards the lower surface of the pallet is formed in a non-edge region (111) of each bearing region of the machined work-piece; the maximum diameter of a notch of each recess (11) is smaller than the minimum diameter of the borne surface of the machined work-piece (14) to be borne; intake holes (13) are distributed on the bottom surface of the recess (11); and the intake holes (13) are connected to a gas source of the heat exchange gas. The pallet (10) can not only improve the efficiency and uniformity of heat exchange between the heat exchange gas and the machined work-piece (14), but can also reduce the leakage amount of the heat exchange gas.
(FR)L'invention concerne un plateau (10) et un appareil d'usinage au plasma. Le plateau (10) est utilisé pour supporter une pièce usinée (14) et régler la température de la pièce usinée (14) au moyen d'un gaz d'échange thermique, au moins une région support de la pièce usinée étant formée sur la surface supérieure du plateau (10); la forme et la taille de chaque région support de la pièce usinée correspondent à la pièce usinée (14) à supporter; au moins une niche (11) qui est creusée en direction de la surface inférieure du plateau est formée dans une région (111) ne se trouvant pas au bord de chaque région support de la pièce usinée; le diamètre maximum d'une entaille de chaque niche (11) est plus petit que le diamètre minimum de la surface supportée de la pièce usinée (14) à supporter; des trous d'entrée (13) sont distribués sur la surface inférieure de la niche (11); et les trous d'entrée (13) sont raccordés à une source de gaz délivrant le gaz d'échange thermique. Le plateau (10) permet non seulement d'améliorer l'efficacité et l'uniformité de l'échange thermique entre le gaz d'échange thermique et la pièce usinée (14), mais aussi de réduire le taux de fuite du gaz d'échange thermique.
(ZH)一种托盘(10)及等离子体加工设备。托盘(10)用于承载被加工工件(14),并借助热交换气体对被加工工件(14)的温度进行调节,在托盘(10)的上表面形成有至少一个被加工工件承载区,每一个被加工工件承载区的形状和尺寸均与所要承载的被加工工件(14)相对应,每一个被加工工件承载区中的非边缘区域(111)形成有至少一个朝向托盘的下表面凹进的凹部(11),每一个凹部(11)的凹口的最大直径小于所要承载的被加工工件(14)的被承载面的最小直径,在凹部(11)的底面上分布有进气孔(13),进气孔(13)与热交换气体的气源相连通。托盘(10)不仅可以提高热交换气体与被加工工件(14)热交换的效率和均匀性,还可以减少热交换气体的泄漏量。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)