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1. (WO2014094887) COMPOSANT DE MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE COMPRENANT DU NITRURE D'ALUMINIUM ET DU SCANDIUM ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COMPOSANT DE MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/094887    N° de la demande internationale :    PCT/EP2012/076723
Date de publication : 26.06.2014 Date de dépôt international : 21.12.2012
CIB :
H03H 3/04 (2006.01), H03H 9/02 (2006.01), H03H 9/58 (2006.01)
Déposants : EPCOS AG [DE/DE]; St.-Martin-Straße 53 81669 München (DE)
Inventeurs : MOULARD, Gilles; (DE).
MURALT, Paul; (CH).
MATLOUB, Ramin; (CH)
Mandataire : ASSOCIATION NO. 175, EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH; Schlossschmidstr. 5 80639 Munich (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) MEMS COMPONENT COMPRISING ALN AND SC AND METHOD FOR MANUFACTURING A MEMS COMPONENT
(FR) COMPOSANT DE MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE COMPRENANT DU NITRURE D'ALUMINIUM ET DU SCANDIUM ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE COMPOSANT DE MICROSYSTÈME ÉLECTROMÉCANIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A MEMS component is provided that comprises a first piezoelectric layer with AIN and Sc between the lower electrode and the upper electrode. Thus, a piezoelectric MEMS component with improved piezoelectric properties is obtained.
(FR)Cette invention concerne un composant de microsystème électromécanique (MEMS), comprenant une première couche piézoélectrique contenant de l'AlN et du Sc entre l'électrode inférieure et l'électrode supérieure. Le composant de MEMES piézoélectrique ainsi obtenu présente des propriétés piézoélectriques améliorées.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)