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1. (WO2014089948) DISPOSITIF MULTIFONCTIONNEL DE REVÊTEMENT PAR PULVÉRISATION EN CONTINU MAGNÉTOCOMMANDÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/089948    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/074407
Date de publication : 19.06.2014 Date de dépôt international : 19.04.2013
CIB :
C23C 14/56 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01)
Déposants : GUANGDONG ZHICHENG CHAMPION GROUP CO., LTD. [CN/CN]; Tianxin Industrial Zone,Tangxia Town Dongguan, Guangdong 523718 (CN)
Inventeurs : ZHAO, Wei; (CN).
CHEN, Yu; (CN)
Mandataire : BEYOND ATTORNEYS AT LAW; F6, Xijin Centre 39 Lianhuachi East Rd., Haidian District Beijing 100036 (CN)
Données relatives à la priorité :
201210543911.X 14.12.2012 CN
Titre (EN) MULTI-FUNCTIONAL CONTINUOUS MAGNETO-CONTROLLED SPUTTER COATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF MULTIFONCTIONNEL DE REVÊTEMENT PAR PULVÉRISATION EN CONTINU MAGNÉTOCOMMANDÉE
(ZH) 多功能连续式磁控溅射镀膜装置
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a multi-functional continuous magneto-controlled sputter coating device which comprises at least one coating chamber. Vertical splashboards and inclined splashboards are installed on the inner wall of the coating chamber and can be alternatively used for magneto-controlled sputter coating, a moveable vertical base material bearing frame is installed inside the coating chamber corresponding to the vertical splashboards, and a moveable inclined base material bearing frame is installed inside the coating chamber corresponding to the inclined splashboards. The vertical splashboards and the inclined splashboards which can be used alternatively are installed at a splashboard position port of the coating chamber, and the vertical base material bearing frame and the inclined base material bearing frame are installed correspondingly, so that different splashboard materials can be selected for coating of coating base materials to meet different requirements; and the vertical splashboards and the inclined splashboards can be used alternatively, so that the coating chamber can be suitable for coating of more standards of products, and the generality of the coating device is improved.
(FR)La présente invention se rapporte à un dispositif multifonctionnel de revêtement par pulvérisation en continu magnétocommandée qui comprend au moins une chambre de revêtement. Des tôles de pulvérisation verticales et des tôles de pulvérisation inclinées sont installées sur la paroi interne de la chambre de revêtement et peuvent être utilisées alternativement pour permettre un revêtement par pulvérisation magnétocommandée, un cadre de support de matériau de base vertical mobile qui correspond aux tôles de pulvérisation verticales étant installé à l'intérieur de la chambre de revêtement, et un cadre de support de matériau de base incliné mobile qui correspond aux tôles de pulvérisation inclinées étant installé à l'intérieur de la chambre de revêtement. Les tôles de pulvérisation verticales et les tôles de pulvérisation inclinées qui peuvent être utilisées alternativement sont installées au niveau d'un orifice de positionnement de tôle de pulvérisation de la chambre de revêtement, et le cadre de support de matériau de base vertical ainsi que le cadre de support de matériau de base incliné sont installés de manière correspondante, de telle sorte que différents matériaux de tôle de pulvérisation puissent être sélectionnés pour permettre le revêtement de matériaux de base de revêtement afin de satisfaire des exigences différentes ; et les tôles de pulvérisation verticales ainsi que les tôles de pulvérisation inclinées peuvent être utilisées alternativement de telle sorte que la chambre de revêtement puisse convenir pour permettre le revêtement d'un plus grand nombre de normes de produits, et la polyvalence du dispositif de revêtement est améliorée.
(ZH)本发明公开一种多功能连续式磁控溅射镀膜装置,包括至少一个镀膜室,镀膜室内壁上具有用于磁控溅射镀膜的可交替使用的立式靶和倾斜靶,对应立式靶在镀膜室内设置移动式的立式基材承载架,对应倾斜靶在镀膜室内设置移动式的倾斜式基材承载架。通过在镀膜室的靶位口处设置可交替使用的立式靶和倾斜靶,并对应设置立式基材承载架和倾斜式基材承载架,使得镀膜基材在不同要求时可以选用不同的靶材进行镀膜,并且立式靶和倾斜靶的可交替使用,还可以使得镀膜室能适应更多规格的产品镀膜,提高镀膜装置的通用性。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)