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1. (WO2014081902) APPAREIL ET PROCÉDÉS DE DÉTECTION DE DÉFAUTS DANS UNE MÉMOIRE VERTICALE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/081902    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/071115
Date de publication : 30.05.2014 Date de dépôt international : 21.11.2013
CIB :
H01L 27/115 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; KLA-TENCOR CORPORATION Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : LANGE, Steven R.; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; KLA-TENCOR CORP. Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
61/729,329 21.11.2012 US
14/078,271 12.11.2013 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHODS FOR DETECTING DEFECTS IN VERTICAL MEMORY
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS DE DÉTECTION DE DÉFAUTS DANS UNE MÉMOIRE VERTICALE
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are methods and apparatus for inspecting a vertical memory stack. On an inspection tool, incident light having a first wavelength range is used to detect defects on a surface of the vertical memory stack. On the inspection tool, incident light having a second wavelength range is used to detect defects on both the surface and throughout a depth of the vertical memory stack. The defects detected using the first and second wavelength range are compared to detect defects only throughout the depth of the vertical memory stack, excluding defects on the surface.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil d'inspection d'un paquet de mémoires verticales. Sur un outil d'inspection, une lumière incidente ayant une première gamme de longueurs d'onde est utilisée pour détecter des défauts sur une surface du paquet de mémoires verticales. Sur l'outil d'inspection, une lumière incidente ayant une seconde gamme de longueurs d'onde est utilisée pour détecter des défauts à la fois sur la surface et sur toute la profondeur du paquet de mémoires verticales. Les défauts détectés en utilisant la première et la seconde gamme de longueurs d'onde sont comparés pour détecter des défauts uniquement sur toute la profondeur du paquet de mémoires verticales, en excluant les défauts sur la surface.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)