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1. (WO2014077073) MÉTHODE DE PRODUCTION DE FILM FIN CONTENANT DU MOLYBDÈNE, MATIÈRE DE DÉPART DE FORMATION DE FILM FIN, ET COMPOSÉ MOLYBDÈNE IMIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/077073    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/077889
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 15.10.2013
CIB :
C23C 16/40 (2006.01), C07F 17/00 (2006.01), C07F 11/00 (2006.01)
Déposants : ADEKA CORPORATION [JP/JP]; 2-35, Higashiogu 7-chome, Arakawa-ku, Tokyo 1168554 (JP)
Inventeurs : SATO, Hiroki; (JP).
UEYAMA, Junji; (JP)
Mandataire : HATORI, Osamu; NIKKEN AKASAKA BLDG., 7F., 5-7, Akasaka 2-chome, Minato-Ku, Tokyo 1070052 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-253276 19.11.2012 JP
Titre (EN) METHOD FOR PRODUCING THIN FILM CONTAINING MOLYBDENUM, THIN FILM-FORMING STARTING MATERIAL, AND MOLYBDENUM IMIDE COMPOUND
(FR) MÉTHODE DE PRODUCTION DE FILM FIN CONTENANT DU MOLYBDÈNE, MATIÈRE DE DÉPART DE FORMATION DE FILM FIN, ET COMPOSÉ MOLYBDÈNE IMIDE
(JA) モリブデンを含有する薄膜の製造方法、薄膜形成用原料及びモリブデンイミド化合物
Abrégé : front page image
(EN)This method for producing a thin film forms a thin film containing molybdenum on a substrate by introducing a vapor, which contains a molybdenum imide compound that is obtained by vaporizing a thin film-forming starting material containing a molybdenum imide compound represented by general formula (I), over the substrate and subjecting the vapor to decomposition and/or a chemical reaction. A thin film-forming starting material of the present invention contains a molybdenum imide compound represented by general formula (I). (In the formula, each of R1-R10 represents a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group having 1-5 carbon atoms; and R11 represents a linear or branched alkyl group having 1-8 carbon atoms.)
(FR)L'invention concerne une méthode de production d'un film fin qui permet de former un film fin contenant du molybdène sur un substrat par introduction d'une vapeur, qui contient un composé molybdène imide qui est obtenu en vaporisant une matière de départ de formation de film fin contenant un composé molybdène imide représenté par la formule générale (I), sur le substrat et en soumettant la vapeur à une décomposition et/ou une réaction chimique. Une matière de départ de formation de film fin selon la présente invention contient un composé molybdène imide représenté par la formule générale (I). (Dans la formule, chacun des R1 à R10 représente un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle linéaire ou ramifié comportant 1 à 5 atomes de carbone ; et R11 représente un groupe alkyle linéaire ou ramifié comportant 1 à 8 atomes de carbone).
(JA) 本発明の薄膜の製造方法は、下記一般式(I)で表されるモリブデンイミド化合物を含有してなる薄膜形成用原料を気化させて得たモリブデンイミド化合物を含有する蒸気を基体上に導入し、これを分解及び/又は化学反応させて、基体上にモリブデンを含有する薄膜を形成する。本発明の薄膜形成用原料は、下記一般式(I)で表されるモリブデンイミド化合物を含有してなる。(式中、R1~R10は水素原子又は炭素数1~5の直鎖若しくは分岐状アルキル基を表し、R11は炭素数1~8の直鎖若しくは分岐状アルキル基を表す。)
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)