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1. WO2014024690 - ROBOT INDUSTRIEL

Numéro de publication WO/2014/024690
Date de publication 13.02.2014
N° de la demande internationale PCT/JP2013/070160
Date du dépôt international 25.07.2013
CIB
B25J 9/06 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
06caractérisés par des bras à articulations multiples
B25J 9/10 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9Manipulateurs à commande programmée
10caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
B25J 19/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
JMANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
19Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
H01L 21/677 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
CPC
B25J 19/0054
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
19Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
0054Cooling means
B25J 9/042
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
9Programme-controlled manipulators
02characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
04by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
041Cylindrical coordinate type
042comprising an articulated arm
H01L 21/67742
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
677for conveying, e.g. between different workstations
67739into and out of processing chamber
67742Mechanical parts of transfer devices
Déposants
  • 日本電産サンキョー株式会社 NIDEC SANKYO CORPORATION [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 矢澤 隆之 YAZAWA, Takayuki [JP]/[JP] (US)
  • 増澤 佳久 MASUZAWA, Yoshihisa [JP]/[JP] (US)
  • 田辺 智樹 TANABE, Tomoki [JP]/[JP] (US)
  • 渡邊 洋和 WATANABE, Hirokazu [JP]/[JP] (US)
Inventeurs
  • 矢澤 隆之 YAZAWA, Takayuki
  • 増澤 佳久 MASUZAWA, Yoshihisa
  • 田辺 智樹 TANABE, Tomoki
  • 渡邊 洋和 WATANABE, Hirokazu
Données relatives à la priorité
2012-24711109.11.2012JP
2012-24711209.11.2012JP
2012-24711309.11.2012JP
2012-24711409.11.2012JP
61/681,26109.08.2012US
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) INDUSTRIAL ROBOT
(FR) ROBOT INDUSTRIEL
(JA) 産業用ロボット
Abrégé
(EN)
The present invention provides an industrial robot that is disposed and used in a vacuum state, wherein driving motors that are disposed in the atmosphere of the inside of an arm and are for driving a hand and the arm can be efficiently cooled. An industrial robot (1) is provided with the following: a motor (46) for pivoting a second arm unit (24) with respect to a first arm unit (23); a motor (47) for pivoting a hand (13) with respect to the second arm unit (24); a deceleration mechanism (48) for decelerating the rotation of the motor (46) and performing transmission to the second arm unit (24); and a deceleration mechanism (49) for decelerating the rotation of the motor (47) and performing transmission to the hand (13). The hand (13) and an arm (14) are disposed in a vacuum state. The deceleration mechanisms (48, 49) are disposed on the same axis so that the pivotal center of the second arm unit (24) with respect to the first arm unit (23) and the axial center of the deceleration mechanisms (48, 49) coincide. An internal space (45) of the first arm unit (23) that is formed hollow is at atmospheric pressure. Provided in the internal space (45) are the motors (46, 47) and the deceleration mechanisms (48, 49).
(FR)
La présente invention concerne un robot industriel qui est disposé et utilisé dans un état de vide, des moteurs d'entraînement qui sont disposés dans l'atmosphère de l'intérieur d'un bras et qui permettent d'entraîner une main et le bras pouvant être efficacement refroidis. Le robot industriel (1) comprend les éléments suivants : un moteur (46) permettant de pivoter une seconde unité de bras (24) par rapport à une première unité de bras (23) ; un moteur (47) permettant de pivoter une main (13) par rapport à la seconde unité de bras (24) ; un mécanisme de décélération (48) permettant de décélérer la rotation du moteur (46) et de réaliser une transmission vers la seconde unité de bras (24) ; et un mécanisme de décélération (49) permettant de décélérer la rotation du moteur (47) et de réaliser une transmission vers la main (13). La main (13) et un bras (14) sont disposés dans un état de vide. Les mécanismes de décélération (48, 49) sont disposés sur le même axe de sorte que le centre de pivotement de la seconde unité de bras (24) par rapport à la première unité de bras (23) et le centre axial des mécanismes de décélération (48, 49) coïncident. Un espace interne (45) de la première unité de bras (23) qui est formé de manière à être creux est à la pression atmosphérique. Les moteurs (46, 47) et les mécanismes de décélération (48, 49) sont disposés dans l'espace interne (45).
(JA)
 本発明は、真空中に配置されて使用される産業用ロボットにおいて、アーム内部の大気中に配置されるハンドやアームの駆動用モータを効率的に冷却することが可能な産業用ロボットを提供する。産業用ロボット(1)は、第1アーム部(23)に対して第2アーム(24)を回動させるモータ(46)と、第2アーム部(24)に対してハンド(13)を回動させるモータ(47)と、モータ(46)の回転を減速して第2アーム部(24)に伝達する減速機(48)と、モータ(47)の回転を減速してハンド(13)に伝達する減速機(49)とを備え、ハンド(13)とアーム(14)は、真空中に配置されている。減速機(48)、(49)は、第1アーム部(23)に対する第2アーム部(24)の回動中心と減速機(48)、(49)の軸中心とが一致するように同軸上に配置されている。中空状に形成される第1アーム部(23)の内部空間(45)は大気圧となっており、この内部空間(45)にモータ(46)、(47)と減速機(48)、(49)とが配置されている。
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