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1. WO2013184337 - SOLUTION À DISPOSITIF DE COMMANDE INTÉGRÉ PERMETTANT DE SURVEILLER ET DE COMMANDER UN ÉQUIPEMENT DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2013/184337
Date de publication 12.12.2013
N° de la demande internationale PCT/US2013/041799
Date du dépôt international 20.05.2013
CIB
G05B 23/02 2006.1
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
23Test ou contrôle des systèmes de commande ou de leurs éléments
02Test ou contrôle électrique
G05B 19/418 2006.1
GPHYSIQUE
05COMMANDE; RÉGULATION
BSYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION EN GÉNÉRAL; ÉLÉMENTS FONCTIONNELS DE TELS SYSTÈMES; DISPOSITIFS DE CONTRÔLE OU DE TEST DE TELS SYSTÈMES OU ÉLÉMENTS
19Systèmes de commande à programme
02électriques
418Commande totale d'usine, c.à d. commande centralisée de plusieurs machines, p.ex. commande numérique directe ou distribuée (DNC), systèmes d'ateliers flexibles (FMS), systèmes de fabrication intégrés (IMS), productique (CIM)
CPC
G05B 15/02
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
15Systems controlled by a computer
02electric
G05B 19/418
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
G05B 23/0291
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02Electric testing or monitoring
0205by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
0259characterized by the response to fault detection
0286Modifications to the monitored process, e.g. stopping operation or adapting control
0291Switching into safety or degraded mode, e.g. protection and supervision after failure
Y02P 90/02
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Y02P 90/80
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
90Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
80Management or planning
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • CLARK, Daniel O.
  • LOLDJ, Youssef A.
  • CRAWFORD, Shaun W.
  • CAYER, Maxime
  • TONG, Tony H.
  • RIESKE, Eric
Mandataires
  • LINARDAKIS, Leonard P.
Données relatives à la priorité
13/895,97816.05.2013US
61/657,40708.06.2012US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) INTEGRATED CONTROLLER SOLUTION FOR MONITORING AND CONTROLLING MANUFACTURING EQUIPMENT
(FR) SOLUTION À DISPOSITIF DE COMMANDE INTÉGRÉ PERMETTANT DE SURVEILLER ET DE COMMANDER UN ÉQUIPEMENT DE FABRICATION
Abrégé
(EN) Methods and apparatus for controlling manufacturing equipment are provided herein. In some embodiments, a manufacturing system may include an integrated controller having one or more inputs to receive input values corresponding to operating information of at least one of a process tool, a mass flow controller or at least one sub-fab auxiliary system, wherein the integrated controller is configured to receive the input values, determine that an error condition is matched based on the received input values, and control the at least one sub-fab auxiliary system to operate at a fail-safe operating mode responsive to the determined error condition.
(FR) La présente invention concerne des procédés et un appareil de commande d'un équipement de fabrication. Dans certains modes de réalisation, un système de fabrication peut comporter un dispositif de commande intégré ayant une ou plusieurs entrées permettant de recevoir des valeurs entrées correspondant à des informations de fonctionnement d'un outil de traitement et/ou d'un dispositif de commande de débit massique et/ou d'au moins un système auxiliaire de sous-maillage. Le dispositif de commande intégré est conçu pour recevoir les valeurs entrées, déterminer qu'une condition d'erreur est satisfaite sur la base des valeurs entrées reçues et commander ledit au moins un système auxiliaire de sous-maillage afin qu'il fonctionne en un mode de fonctionnement à sécurité intégrée en réponse à la condition d'erreur déterminée.
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