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1. (WO2013184337) SOLUTION À DISPOSITIF DE COMMANDE INTÉGRÉ PERMETTANT DE SURVEILLER ET DE COMMANDER UN ÉQUIPEMENT DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/184337    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/041799
Date de publication : 12.12.2013 Date de dépôt international : 20.05.2013
CIB :
G05B 23/02 (2006.01), G05B 19/418 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : CLARK, Daniel O.; (US).
LOLDJ, Youssef A.; (US).
CRAWFORD, Shaun W.; (US).
CAYER, Maxime; (US).
TONG, Tony H.; (US).
RIESKE, Eric; (US)
Mandataire : LINARDAKIS, Leonard P.; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
61/657,407 08.06.2012 US
13/895,978 16.05.2013 US
Titre (EN) INTEGRATED CONTROLLER SOLUTION FOR MONITORING AND CONTROLLING MANUFACTURING EQUIPMENT
(FR) SOLUTION À DISPOSITIF DE COMMANDE INTÉGRÉ PERMETTANT DE SURVEILLER ET DE COMMANDER UN ÉQUIPEMENT DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)Methods and apparatus for controlling manufacturing equipment are provided herein. In some embodiments, a manufacturing system may include an integrated controller having one or more inputs to receive input values corresponding to operating information of at least one of a process tool, a mass flow controller or at least one sub-fab auxiliary system, wherein the integrated controller is configured to receive the input values, determine that an error condition is matched based on the received input values, and control the at least one sub-fab auxiliary system to operate at a fail-safe operating mode responsive to the determined error condition.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil de commande d'un équipement de fabrication. Dans certains modes de réalisation, un système de fabrication peut comporter un dispositif de commande intégré ayant une ou plusieurs entrées permettant de recevoir des valeurs entrées correspondant à des informations de fonctionnement d'un outil de traitement et/ou d'un dispositif de commande de débit massique et/ou d'au moins un système auxiliaire de sous-maillage. Le dispositif de commande intégré est conçu pour recevoir les valeurs entrées, déterminer qu'une condition d'erreur est satisfaite sur la base des valeurs entrées reçues et commander ledit au moins un système auxiliaire de sous-maillage afin qu'il fonctionne en un mode de fonctionnement à sécurité intégrée en réponse à la condition d'erreur déterminée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)