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1. (WO2013182372) PROCÉDÉ DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE ASSISTÉ PAR PLASMA À DENSITÉ ÉLEVÉE ET DISPOSITIF DE MISE EN ŒUVRE DU PROCÉDÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2013/182372    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/059643
Date de publication : 12.12.2013 Date de dépôt international : 08.05.2013
CIB :
C23C 16/27 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01), C23C 16/48 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c 80686 München (DE)
Inventeurs : REYNVAAN, Jacob; (AT).
GRÜNWALD, Johannes; (AT)
Mandataire : TAPPE, Hartmut; advotec. Patent- und Rechtsanwälte Georg-Schlosser-Strasse 6 35390 Gießen (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 209 650.7 08.06.2012 DE
Titre (DE) PLASMA-UNTERSTÜTZTES CHEMISCHES GASABSCHEIDUNGS-VERFAHREN MIT ERHÖHTER PLASMADICHTE UND VORRICHTUNG ZUR UMSETZUNG DES VERFAHRENS
(EN) PLASMA-ASSISTED CHEMICAL GAS SEPARATION METHOD HAVING INCREASED PLASMA DENSITY AND DEVICE FOR IMPLEMENTING THE METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE ASSISTÉ PAR PLASMA À DENSITÉ ÉLEVÉE ET DISPOSITIF DE MISE EN ŒUVRE DU PROCÉDÉ
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung von Oberflächen eines Substrats (8) nach der Methode der Plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung. Grundgedanke der vorliegenden Erfindung ist es, die in dem Plasma vorherrschende Ionenkonzentration zu erhöhen, um zu erreichen, dass sich mehr Ionen auf dem Substrat (8) anlagern und das Schichtwachstum (12) fördern. Erfindungsgemäß wird die Ionenkonzentration dadurch erhöht, dass an der Oberfläche des zu beschichtenden Substrats (8) ein sogenannter Fireball gebildet wird. Als Fireballs werden die Ionisierungsvorgänge bezeichnet, die sich in Plasmaprozessen an Elektrodenoberflächen (2) als spontan kleine hell leuchtende Erscheinungen ausbilden. Dazu wird eine Elektrode (2) in ein existierendes Hintergrundplasma eingebracht und auf ein positives Potential (4) gelegt.
(EN)The invention relates to a method and a device for coating surfaces of a substrate (8) according to the technique of plasma-assisted chemical gas phase separation. The basic idea of the present invention is to increase the ion concentration prevailing in the plasma such that more ions adsorb on the substrate (8) and promote the layer growth (12). According to the invention, the ion concentration is increased by forming a so-called fireball on the surface of the substrate (8) to be coated. The term fireballs refers to the ionization processes that form on electrode surfaces (2) as spontaneous small brightly luminescent appearances in plasma processes. For this purpose, an electrode (2) is introduced into an existing background plasma and connected to a positive potential (4).
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de revêtement de surfaces d'un substrat (8) par la technique du dépôt chimique en phase gazeuse assisté par plasma. Le concept de base de la présente invention consiste à augmenter la concentration des ions présents dans le plasma afin de permettre à un plus grand nombre d'ions de s'accumuler sur le substrat (8) et de favoriser la croissance de la couche (12). Selon l'invention, l'augmentation de la concentration en ions est obtenue en formant sur la surface du substrat (8) à revêtir ce que l'on appelle une boule de feu. L'expression boule de feu désigne les réactions d'ionisation qui se produisent lors des processus à base de plasma sur des surfaces d'électrodes (2) sous la forme de petits phénomènes spontanés produisant une lumière vive. Pour cela, on introduit une électrode (2) dans un plasma de fond existant et on la porte à un potentiel (4) positif.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)