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1. WO2013164406 - DISPOSITIF DE PRODUCTION DE PLASMA

Numéro de publication WO/2013/164406
Date de publication 07.11.2013
N° de la demande internationale PCT/EP2013/059150
Date du dépôt international 02.05.2013
CIB
H05H 1/36 2006.1
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
HTECHNIQUE DU PLASMA; PRODUCTION DE PARTICULES ÉLECTRIQUEMENT CHARGÉES ACCÉLÉRÉES OU DE NEUTRONS; PRODUCTION OU ACCÉLÉRATION DE FAISCEAUX MOLÉCULAIRES OU ATOMIQUES NEUTRES
1Production du plasma; Mise en œuvre du plasma
24Production du plasma
26Torches à plasma
32utilisant un arc
34Détails, p.ex. électrodes, buses
36Dispositions des circuits
H05H 1/44 2006.1
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
HTECHNIQUE DU PLASMA; PRODUCTION DE PARTICULES ÉLECTRIQUEMENT CHARGÉES ACCÉLÉRÉES OU DE NEUTRONS; PRODUCTION OU ACCÉLÉRATION DE FAISCEAUX MOLÉCULAIRES OU ATOMIQUES NEUTRES
1Production du plasma; Mise en œuvre du plasma
24Production du plasma
26Torches à plasma
32utilisant un arc
44utilisant plusieurs torches
CPC
H01J 37/32449
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
3244Gas supply means
32449Gas control, e.g. control of the gas flow
H01J 37/32899
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
32798Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
32899Multiple chambers, e.g. cluster tools
H05H 1/36
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
26Plasma torches
32using an arc
34Details, e.g. electrodes, nozzles
36Circuit arrangements
H05H 1/44
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
26Plasma torches
32using an arc
44using more than one torch
Déposants
  • REINHAUSEN PLASMA GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • NETTESHEIM, Stefan
Mandataires
  • REICHERT, Werner
Données relatives à la priorité
10 2012 103 938.004.05.2012DE
Langue de publication Allemand (de)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) PLASMAERZEUGUNGSVORRICHTUNG
(EN) PLASMA GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE PRODUCTION DE PLASMA
Abrégé
(DE) Die Erfindung betrifft eine Plasmaerzeugungsvorrichtung (100) mit mehreren Plasmamodulen (1) zur Erzeugung eines Plasmas (6). Jedes Plasmamodul (1) besitzt ein Modulgehäuse (5) mit mindestens einem Gaseinlass (17) zur Zuführung eines Prozessgases (18G). Ferner ist eine Entladungseinrichtung (4, 2) zur Erzeugung des Plasmas (6) aus dem Prozessgas (18G) und einen Plasmaauslass (3) vorgesehen. Die Plasmaerzeugungsvorrichtung (100) besitzt zur Erzeugung eines Plasmas (6) wenigstens zwei Plasmamodulen (1). Jedes Plasmamodul hat mindestens einen Gasauslass (19) für einen Teil des Prozessgases (18G), wobei der mindestens eine Gasauslass (19) zumindest eines Plasmamoduls (1) in je einen Gaseinlass (17) eines anderen Plasmamoduls (1) mündet.
(EN) The invention relates to a plasma generation device (100) comprising a plurality of plasma modules (1) for generating a plasma (6). Each plasma module (1) has a module housing (5) with at least one gas inlet (17) for supplying a process gas (18G). Furthermore, a discharge device (4, 2) for generating the plasma (6) from the process gas (18G) and a plasma outlet (3) are provided. The plasma generation device (100) has at least two plasma modules (1) for generating a plasma (6). Each plasma module has at least one gas outlet (19) for some of the process gas (18G), wherein the at least one gas outlet (19) of at least one plasma module (1) issues into a respective gas inlet (17) of another plasma module (1).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de production de plasma (100) comprenant plusieurs modules à plasma (1) conçus pour produire un plasma (6). Chaque module à plasma (1) possède un boîtier (5) présentant au moins une entrée de gaz (17) qui permet l'alimentation en gaz de processus (18G). Il comprend également un dispositif de décharge (4, 2) conçu pour produire le plasma (6) à partir du gaz de processus (18G) et une sortie de plasma (3). Le dispositif de production de plasma (100) comprend au moins deux modules à plasma (1) pour la production d'un plasma (6). Chaque module à plasma présente au moins une sortie de gaz (19) pour une partie du gaz de processus (18G), laquelle au moins une sortie de gaz (19) d'au moins un module à plasma (1) débouche respectivement dans une entrée de gaz (17) d'un autre module à plasma (1).
Documents de brevet associés
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