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1. WO2013134966 - INTERFÉROMÈTRE À BALAYAGE DES LONGUEURS D'ONDES POUR MESURES D'ASPHÉRICITÉ, ET PROCÉDÉ D'APPLICATION CORRESPONDANT

Numéro de publication WO/2013/134966
Date de publication 19.09.2013
N° de la demande internationale PCT/CN2012/072659
Date du dépôt international 21.03.2012
CIB
G01B 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02Interféromètres
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
CPC
G01B 11/2441
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
2441using interferometry
G01B 9/02039
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02034characterised by particularly shaped beams or wavefronts
02038Shaping the wavefront, e.g. generating a spherical wavefront
02039by matching the wavefront with a particular object surface shape
G01B 9/02041
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02Interferometers ; for determining dimensional properties of, or relations between, measurement objects
02041characterised by particular imaging or detection techniques
G01M 11/005
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
005Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
Déposants
  • 浙江大学 ZHEJIANG UNIVERSITY [CN]/[CN] (AllExceptUS)
  • 汪凯巍 WANG, Kaiwei [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 白剑 BAI, Jian [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 沈亦兵 SHEN, Yibing [CN]/[CN] (UsOnly)
  • 杨甬英 YANG, Yongying [CN]/[CN] (UsOnly)
Inventeurs
  • 汪凯巍 WANG, Kaiwei
  • 白剑 BAI, Jian
  • 沈亦兵 SHEN, Yibing
  • 杨甬英 YANG, Yongying
Mandataires
  • 杭州求是专利事务所有限公司 HANGZHOU QIUSHI PATENT OFFICE CO., LTD.
Données relatives à la priorité
201210067757.315.03.2012CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) WAVELENGTH SCANNING INTERFEROMETER FOR ASPHERIC MEASUREMENTS AND APPLICATION METHOD THEREFOR
(FR) INTERFÉROMÈTRE À BALAYAGE DES LONGUEURS D'ONDES POUR MESURES D'ASPHÉRICITÉ, ET PROCÉDÉ D'APPLICATION CORRESPONDANT
(ZH) 用于非球面测量的波长扫描干涉仪及其应用方法
Abrégé
(EN)
Disclosed is a wavelength scanning interferometer for aspheric measurements, comprising a set of tunable lasers (7) as a light source, a Tyman-Green interferometer for generating interference fringes, a translating stage (1) for scanning the optical path difference along an optical axis, a graphic card (11) for converting interferometric data into digital signals and transferring same to a computer (12), and a data card (13) for synchronizing the actions of a CCD camera (9) and the translating stage (1). The interferometer differs from conventional aspheric measurement methods in that it can measure a surface or wave front having a large asphericity without null lens compensation. Further provided is an application method of the wavelength scanning interferometer for aspheric measurements, which method does not need a complicated and generally expensive stage for multi-dimensional movement.
(FR)
L'invention concerne un interféromètre à balayage des longueurs d'ondes destiné aux mesures d'asphéricité. Cet interféromètre comprend un ensemble de lasers accordables (7) constituant une source de lumière, un interféromètre de Twyman-Green pour la production de franges d'interférence, un étage de translation (1) pour mesurer par balayage la différence entre longueurs de trajets optiques selon un axe optique, une carte graphique (11) pour convertir en signaux numériques les données interférométriques et pour transférer à un ordinateur (12) ces signaux numériques, et une carte de données (13) pour synchroniser les actions d'une caméra CCD (9) et de l'étage de translation (1). Cet interféromètre diffère de ceux utilisés pour les procédés conventionnels de mesure d'asphéricité en ce qu'il peut mesurer une surface ou un front d'onde affectés d'une grande asphéricité sans compensation de lentille neutre. L'invention concerne également un procédé d'application de l'interféromètre à balayage des longueurs d'ondes pour mesures d'asphéricité, ce procédé ne demandant pas d'étage de mouvement multidimensionnel, compliqué et sensiblement onéreux.
(ZH)
一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪,包括一套可调谐激光器(7)作为光源,一个泰曼——格林干涉仪用于产生干涉条纹,一个平移台(1)用于沿光轴扫描光程差,一个用于将干涉数据转为数字信号并传入计算机(12)的图像卡(11),以及一个用于同步CCD相机(9)和平移台(1)动作的数据卡(13)。与传统非球面测量方法不同的是,该干涉仪可以测量大非球面度的表面或波前,且无需补偿零位镜。还提供了一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪的应用方法,该方法无需复杂且通常较为昂贵的多维运动平台。
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