(EN) Disclosed is a wavelength scanning interferometer for aspheric measurements, comprising a set of tunable lasers (7) as a light source, a Tyman-Green interferometer for generating interference fringes, a translating stage (1) for scanning the optical path difference along an optical axis, a graphic card (11) for converting interferometric data into digital signals and transferring same to a computer (12), and a data card (13) for synchronizing the actions of a CCD camera (9) and the translating stage (1). The interferometer differs from conventional aspheric measurement methods in that it can measure a surface or wave front having a large asphericity without null lens compensation. Further provided is an application method of the wavelength scanning interferometer for aspheric measurements, which method does not need a complicated and generally expensive stage for multi-dimensional movement.
(FR) L'invention concerne un interféromètre à balayage des longueurs d'ondes destiné aux mesures d'asphéricité. Cet interféromètre comprend un ensemble de lasers accordables (7) constituant une source de lumière, un interféromètre de Twyman-Green pour la production de franges d'interférence, un étage de translation (1) pour mesurer par balayage la différence entre longueurs de trajets optiques selon un axe optique, une carte graphique (11) pour convertir en signaux numériques les données interférométriques et pour transférer à un ordinateur (12) ces signaux numériques, et une carte de données (13) pour synchroniser les actions d'une caméra CCD (9) et de l'étage de translation (1). Cet interféromètre diffère de ceux utilisés pour les procédés conventionnels de mesure d'asphéricité en ce qu'il peut mesurer une surface ou un front d'onde affectés d'une grande asphéricité sans compensation de lentille neutre. L'invention concerne également un procédé d'application de l'interféromètre à balayage des longueurs d'ondes pour mesures d'asphéricité, ce procédé ne demandant pas d'étage de mouvement multidimensionnel, compliqué et sensiblement onéreux.
(ZH) 一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪，包括一套可调谐激光器（7）作为光源，一个泰曼——格林干涉仪用于产生干涉条纹，一个平移台（1）用于沿光轴扫描光程差，一个用于将干涉数据转为数字信号并传入计算机（12）的图像卡（11），以及一个用于同步CCD相机（9）和平移台（1）动作的数据卡（13）。与传统非球面测量方法不同的是，该干涉仪可以测量大非球面度的表面或波前，且无需补偿零位镜。还提供了一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪的应用方法，该方法无需复杂且通常较为昂贵的多维运动平台。