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1. WO2013130736 - DISPOSITIF DE BROCHE DE SONDE REVÊTUE À QUATRE POINTS DE PRESSION VARIABLE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ

Numéro de publication WO/2013/130736
Date de publication 06.09.2013
N° de la demande internationale PCT/US2013/028211
Date du dépôt international 28.02.2013
CIB
G01R 1/067 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02Éléments structurels généraux
06Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067Sondes de mesure
CPC
G01R 1/06705
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
06705Apparatus for holding or moving single probes
Déposants
  • KLA-TENCOR CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • JOHNSON, Walter
  • ZHU, NanChang
Mandataires
  • McANDREWS, Kevin
Données relatives à la priorité
13/779,39227.02.2013US
61/605,61201.03.2012US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) VARIABLE PRESSURE FOUR-POINT COATED PROBE PIN DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF DE BROCHE DE SONDE REVÊTUE À QUATRE POINTS DE PRESSION VARIABLE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
Abrégé
(EN) A variable pressure probe pin device, including: a housing with a channel having a first longitudinal axis; a probe at least partially disposed in the channel and including a plurality of probe pins configured to measure a property of a conductive layer; and a fluid pressure system configured to supply pressurized fluid o the channel to control a position of the probe within the channel. The housing or the probe is displaceable such that the plurality of probe pins contact the conductive layer.
(FR) La présente invention porte sur un dispositif de broche de sonde de pression variable qui comprend : un logement ayant un canal qui présente un premier axe longitudinal ; une sonde au moins partiellement disposée dans le canal et comprenant une pluralité de broches de sonde configurées pour mesurer une propriété d'une couche conductrice ; un système de pression de fluide configuré pour alimenter un fluide mis sous pression au canal afin de commander une position de la sonde à l'intérieur du canal. Le logement ou la sonde peut être déplacée de telle sorte que la pluralité de broches de sonde viennent en contact avec la couche conductrice.
Documents de brevet associés
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