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1. WO2013046283 - ÉQUIPEMENT ÉLECTRIQUE DOTÉ D'UNE PARTIE MOBILE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2013/046283
Date de publication 04.04.2013
N° de la demande internationale PCT/JP2011/005550
Date du dépôt international 30.09.2011
CIB
H01H 59/00 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
HINTERRUPTEURS ÉLECTRIQUES; RELAIS; SÉLECTEURS; DISPOSITIFS DE PROTECTION
59Relais électrostatiques; Relais à électro-adhésion
B81B 3/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
CPC
B81B 2201/018
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
01Switches
012characterised by the shape
018Switches not provided for in B81B2201/014 - B81B2201/016
B81B 2203/0118
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0118Cantilevers
B81B 3/0072
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
0067Mechanical properties
0072For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
B81B 3/0097
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0097Devices comprising flexible or deformable elements not provided for in groups B81B3/0002 - B81B3/0094
H01G 5/16
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
5Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
16using variation of distance between electrodes
H01H 1/0036
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
1Contacts
0036Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS] ;
Déposants
  • 富士通株式会社 FUJITSU LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 井上 広章 INOUE, Hiroaki [JP]/[JP] (UsOnly)
  • ミイ シャオユウ MI, Xiaoyu [CN]/[JP] (UsOnly)
Inventeurs
  • 井上 広章 INOUE, Hiroaki
  • ミイ シャオユウ MI, Xiaoyu
Mandataires
  • 高橋 敬四郎 TAKAHASHI, Keishiro
Données relatives à la priorité
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) ELECTRIC EQUIPMENT WITH MOVING PART AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
(FR) ÉQUIPEMENT ÉLECTRIQUE DOTÉ D'UNE PARTIE MOBILE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 可動部を有する電気機器とその製造方法
Abrégé
(EN) [Problem] To construct electric equipment that has a warp-inhibited moving part. [Solution] At least one pedestal section and a counter electrode are formed, by means of plating, adjacent to a first space region on a first seed layer formed above a substrate, said pedestal section being made of a second metallic material. The first space region is filled with a first sacrificial layer. By using the same resist pattern, a second sacrificial layer is formed with a metallic material so as to extend from above the first sacrificial layer to a portion of the surface of the pedestal section, and a lower structure is formed with a third metallic material, by means of continuous plating, on the second sacrificial layer, said third metallic material having a composition and a thermal expansion coefficient equivalent to those of the second metallic material. The surface portion of the pedestal section where the second sacrificial layer is not formed is exposed, and an upper structure is formed with a fourth metallic material over the pedestal section and the lower structure by means of plating, said fourth metallic material having a composition and a thermal expansion coefficient equivalent to those of the second metallic material and the third metallic material. Then, the first sacrificial layer and the second sacrificial layer are removed in order to create the electric equipment with the moving part.
(FR) L'objet de la présente invention est de construire un équipement électrique qui est doté d'une partie mobile interdisant le gauchissement. Selon la présente invention, au moins une section de pied et une contre-électrode sont formées au moyen d'un placage, adjacent à une première région d'espace sur une première couche de germe qui est formée au-dessus d'un substrat, ladite section de pied étant constituée d'un deuxième matériau métallique. La première région d'espace est remplie avec une première couche sacrificielle. En utilisant le même motif de résist, une seconde couche sacrificielle est constituée d'un matériau métallique de manière à s'étendre depuis le dessus de la première couche sacrificielle jusqu'à une portion de la surface de la section de pied, et une structure inférieure est constituée d'un troisième matériau métallique, au moyen d'un placage continu, sur la seconde couche sacrificielle, ledit troisième matériau métallique étant doté d'une composition et d'un coefficient de dilatation thermique équivalent à ceux du deuxième matériau métallique. La portion de surface de la section de pied où la seconde couche sacrificielle n'est pas formée est exposée et une structure supérieure est constituée d'un quatrième matériau métallique au-dessus de la section de pied et de la structure inférieure au moyen d'un placage, ledit quatrième matériau métallique étant doté d'une composition et d'un coefficient de dilatation thermique équivalant à ceux du deuxième matériau métallique et du troisième matériau métallique. Par la suite, la première couche sacrificielle et la seconde couche sacrificielle sont retirées afin de créer l'équipement électrique doté de la partie mobile.
(JA) 【課題】 反りを抑制した可動部を有する電気機器を形成する。 【解決手段】 基板上に形成した第1シード層上、第1空間領域に隣接して、第2金属材料のすくなくとも1つの台座部、対向電極をメッキで形成し、第1空間領域を第1犠牲層で埋め、同一レジストパターンを用いて、第1犠牲層上から台座部表面の一部に延在する金属材料の第2犠牲層、第2犠牲層上に第2金属材料と同等の組成、熱膨張係数を有する第3金属材料の下部構造体を連続メッキで形成し、第2犠牲層を形成しなかった台座部表面を露出し、台座部、下部構造体の上に第2金属材料、第3金属材料と同等の組成、熱膨張係数を有する第4金属材料の上部構造体をメッキで形成し、第1犠牲層、第2犠牲層を除去して、可動部を有する電気機器を作成する。
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