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1. WO2012047697 - EMPILEMENTS OXYDE-NITRURE ET OXYDE-SILICIUM DÉPOSÉS PAR PECVD POUR APPLICATIONS DE MÉMOIRE 3D

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Date de publicationType de publicationMotif de publication
12.04.2012A2Publication initiale sans ISR
28.06.2012A3Publication ultérieure du rapport de recherche internationale