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1. WO2012012384 - MATÉRIAU DE NITRURE D'ALUMINIUM POLYCRISTALLIN ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CELUI-CI

Numéro de publication WO/2012/012384
Date de publication 26.01.2012
N° de la demande internationale PCT/US2011/044475
Date du dépôt international 19.07.2011
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 17.05.2012
CIB
C04B 35/581 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
04CIMENTS; BÉTON; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES
BCHAUX; MAGNÉSIE; SCORIES; CIMENTS; LEURS COMPOSITIONS, p.ex. MORTIERS, BÉTON OU MATÉRIAUX DE CONSTRUCTION SIMILAIRES; PIERRE ARTIFICIELLE; CÉRAMIQUES; RÉFRACTAIRES; TRAITEMENT DE LA PIERRE NATURELLE
35Produits céramiques mis en forme, caractérisés par leur composition; Compositions céramiques; Traitement de poudres de composés inorganiques préalablement à la fabrication de produits céramiques
515à base de non oxydes
58à base de borures, nitrures ou siliciures
581à base de nitrure d'aluminium
H01L 21/683 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683pour le maintien ou la préhension
H01L 23/15 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
23Détails de dispositifs à semi-conducteurs ou d'autres dispositifs à l'état solide
12Supports, p.ex. substrats isolants non amovibles
14caractérisés par le matériau ou par ses propriétés électriques
15Substrats en céramique ou en verre
CPC
C01B 21/072
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
21Nitrogen; Compounds thereof
06Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, ; or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
072with aluminium
C04B 2235/5409
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
54Particle size related information
5409expressed by specific surface values
C04B 2235/5436
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
54Particle size related information
5418expressed by the size of the particles or aggregates thereof
5436micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
C04B 2235/5445
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
54Particle size related information
5418expressed by the size of the particles or aggregates thereof
5445submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
C04B 2235/5481
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
54Particle size related information
5463Particle size distributions
5481Monomodal
C04B 2235/604
CCHEMISTRY; METALLURGY
04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE
2235Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
604Pressing at temperatures other than sintering temperatures
Déposants
  • HEXATECH, INC. [US/US]; 991 Aviation Parkway Morrisville, North Carolina 27560, US (AllExceptUS)
  • MOODY, Baxter [US/US]; US (UsOnly)
  • DALMAU, Rafael [US/US]; US (UsOnly)
  • HENSHALL, David [US/US]; US (UsOnly)
  • SCHLESSER, Raoul [LU/LU]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • MOODY, Baxter; US
  • DALMAU, Rafael; US
  • HENSHALL, David; US
  • SCHLESSER, Raoul; US
Mandataires
  • CAGLE, Ryan, W.; Womble Carlyle Sandridge & Rice, LLP P.O. Box 7037 Atlanta, Georgia 30357, US
Données relatives à la priorité
61/365,97620.07.2010US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) POLYCRYSTALLINE ALUMINUM NITRIDE MATERIAL AND METHOD OF PRODUCTION THEREOF
(FR) MATÉRIAU DE NITRURE D'ALUMINIUM POLYCRISTALLIN ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CELUI-CI
Abrégé
(EN)
Methods of preparing polycrystalline aluminum nitride materials that have high density, high purity, and favorable surface morphology are disclosed. The methods generally comprises pressing aluminum nitride powders to form a slug, sintering the slug to form a sintered, polycrystalline aluminum nitride boule, and optionally shaping the boule and/or polishing at least a portion of the boule to provide a finished substrate. The sintered, polycrystalline aluminum nitride materials beneficially are prepared without the use of any sintering aid or binder, and the formed materials exhibit excellent density, AlN purity, and surface morphology.
(FR)
La présente invention concerne des procédés de préparation de matériaux de nitrure d'aluminium polycristallin qui ont une masse volumique élevée, une pureté élevée, et une morphologie de surface favorable. Les procédés comprennent généralement la compression de poudres de nitrure d'aluminium pour former une billette, le frittage de la billette pour former une boule de nitrure d'aluminium polycristallin, et facultativement le formage de la boule et/ou le polissage d'au moins une partie de la boule pour produire un substrat fini. Les matériaux de nitrure d'aluminium polycristallin fritté sont préparés de façon bénéfique sans l'utilisation d'un adjuvant de frittage ou liant quelconque, et les matériaux formés présentent d'excellentes masse volumique, pureté de AlN, et morphologie de surface.
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