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Paramétrages

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1. WO2012010374 - AGENCEMENT D'EXTINCTION D'ARCS ET PROCÉDÉ D'EXTINCTION D'ARCS

Numéro de publication WO/2012/010374
Date de publication 26.01.2012
N° de la demande internationale PCT/EP2011/059812
Date du dépôt international 14.06.2011
CIB
H01J 37/32 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
CPC
H01J 37/32018
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32018Glow discharge
H01J 37/32045
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32018Glow discharge
32045Circuits specially adapted for controlling the glow discharge
H01J 37/32064
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32055Arc discharge
32064Circuits specially adapted for controlling the arc discharge
H01J 37/32935
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32917Plasma diagnostics
32935Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
Déposants
  • HÜTTINGER ELEKTRONIK GMBH + CO. KG [DE/DE]; Bötzinger Straße 80 79111 Freiburg, DE (AllExceptUS)
  • RICHTER, Ulrich [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs
  • RICHTER, Ulrich; DE
Mandataires
  • KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE; Ruppmannstrasse 27 70565 Stuttgart, DE
Données relatives à la priorité
10 2010 031 568.020.07.2010DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) ARCLÖSCHANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSCHEN VON ARCS
(EN) ARC QUENCHING ASSEMBLY AND METHOD FOR QUENCHING ARCS
(FR) AGENCEMENT D'EXTINCTION D'ARCS ET PROCÉDÉ D'EXTINCTION D'ARCS
Abrégé
(DE)
Bei einem Verfahren zur Löschung eines Ares in einer Gasentiadungskammer (5), bei dem Leistung einer Gasentiadungskammer (5) zugeführt wird und in der sowohl bei einem Stromfluss in einer ersten Richtung als auch bei einem Stromfluss in einer zweiten umgekehrten Richtung jeweils eine Gasentladung erzeugt wird, wird bei Erkennen eines Ares die Leistungszufuhr zur Gasentiadungskammer (5} unterbrochen und Restenergie, die in einer Zuleitung (17, 19) zur Gasentiadungskammer (5) und/oder in der Gasentiadungskammer (5) vorhanden ist, einem Energiespeicher (30) zugeführt.
(EN)
The invention relates to a method for quenching arcs in a gas discharge chamber (5), in which power is fed to a gas discharge chamber (5) and in which, both when there is a flow of current in a first direction and when there is a flow of current in a second, reverse direction, a gas discharge is generated. When an arc is detected, the supply of power to the gas discharge chamber (5) is interrupted and residual energy which is present in a feed line (17, 19) to the gas discharge chamber (5) and/or in the gas discharge chamber (5) is fed to an energy store (30).
(FR)
L'invention concerne un procédé d'extinction d'un arc dans une chambre de décharge de gaz (5), selon lequel de l'énergie est apportée à une chambre de décharge de gaz (5) et dans laquelle une décharge de gaz respective est produite tant lors d'un flux de courant dans une première direction que lors d'un flux de courant dans une seconde direction, inverse. Selon l'invention, en cas de détection d'un arc, l'apport d'énergie à la chambre de décharge de gaz (5) est interrompu, et l'énergie résiduelle qui est présente dans une conduite d'amenée (17, 19) menant à la chambre de décharge de gaz (5) et/ou dans la chambre de décharge de gaz (5) est apportée à un accumulateur d'énergie (30).
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