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Paramétrages

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1. WO2012009264 - ENSEMBLE DE RACCORDEMENT DE TUBE DE RENFORCEMENT À UNE CIBLE ROTATIVE

Numéro de publication WO/2012/009264
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/US2011/043532
Date du dépôt international 11.07.2011
CIB
C23C 14/34 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22caractérisé par le procédé de revêtement
34Pulvérisation cathodique
CPC
B23K 37/0443
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
37Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
04for holding or positioning work
0426Fixtures for other work
0435Clamps
0443Jigs
C23C 14/3407
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
34Sputtering
3407Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
H01J 37/342
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3411Constructional aspects of the reactor
3414Targets
342Hollow targets
H01J 37/3435
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
34operating with cathodic sputtering
3411Constructional aspects of the reactor
3435Target holders (includes backing plates and endblocks)
Déposants
  • MATERION ADVANCED MATERIALS TECHNOLOGIES AND SERVICES INC. [US/US]; 2978 Main Street Buffalo, NY 14214, US (AllExceptUS)
  • WITYAK, George, Michael [US/US]; US (UsOnly)
  • COX, Luther, Wilburn [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • WITYAK, George, Michael; US
  • COX, Luther, Wilburn; US
Mandataires
  • KAREKEN, Ronald S.; Hiscock & Barclay, LLP 2000 HSBC Plaza, 100 Chestnut Street Rochester, NY 14604, US
Données relatives à la priorité
61/363,30812.07.2010US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ROTARY TARGET BACKING TUBE BONDING ASSEMBLY
(FR) ENSEMBLE DE RACCORDEMENT DE TUBE DE RENFORCEMENT À UNE CIBLE ROTATIVE
Abrégé
(EN)
A rotary sputtering target bonded to a backing tube such that the bonding material is applied only proximate the ends of the rotary sputtering target and is also between the target and the backing tube to form a gap between the rotary sputtering target and the backing tube and a device for bonding a rotary sputtering target to a backing tube.
(FR)
La présente invention se rapporte une cible de pulvérisation rotative raccordée à un tube de renforcement de telle sorte que le matériau de raccordement soit appliqué uniquement à proximité des extrémités de la cible de pulvérisation rotative et se trouve également entre la cible et le tube de renforcement afin de former un espace entre la cible de pulvérisation rotative et le tube de renforcement. La présente invention se rapporte également à un dispositif permettant de raccorder une cible de pulvérisation rotative à un tube de renforcement.
Également publié en tant que
RU2013103041
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