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1. WO2012008866 - NANOCOMPOSITE À COUCHES MULTIPLES POUR CONDENSATEURS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION

Numéro de publication WO/2012/008866
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/RU2010/000400
Date du dépôt international 19.07.2010
CIB
H01G 4/06 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
GCONDENSATEURS; CONDENSATEURS, REDRESSEURS, DÉTECTEURS, DISPOSITIFS DE COMMUTATION, DISPOSITIFS PHOTOSENSIBLES OU SENSIBLES À LA TEMPÉRATURE, DU TYPE ÉLECTROLYTIQUE
4Condensateurs fixes; Procédés pour leur fabrication
002Détails
018Diélectriques
06Diélectriques solides
B82Y 30/00 2011.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
82NANOTECHNOLOGIE
YUTILISATION OU APPLICATIONS SPÉCIFIQUES DES NANOSTRUCTURES; MESURE OU ANALYSE DES NANOSTRUCTURES; FABRICATION OU TRAITEMENT DES NANOSTRUCTURES
30Nanotechnologie pour matériaux ou science des surfaces, p.ex. nanocomposites
CPC
H01G 4/1209
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
002Details
018Dielectrics
06Solid dielectrics
08Inorganic dielectrics
12Ceramic dielectrics
1209characterised by the ceramic dielectric material
H01G 4/20
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
4Fixed capacitors; Processes of their manufacture
002Details
018Dielectrics
20using combinations of dielectrics from more than one of groups H01G4/02 - H01G4/06
H01G 9/0032
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
9Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
0029Processes of manufacture
0032formation of the dielectric layer
Déposants
  • ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЫО «БAPГAH TEXHOЛOДЖИ» OBSCHESTWO S OGRANICHENNOI OTVETSTVENNOSTJU "BARGAN TECHNOLOGY" [RU/RU]; ул. Старообрядческая, 28A-1, Москва, ul. Staroobryadcheskaya, 28A-1 Moscow, 111024, RU (AllExceptUS)
  • БАРГАН, Василий Александрович BARGAN, Vasily Aleksandrovich [RU/RU]; RU (UsOnly)
Inventeurs
  • БАРГАН, Василий Александрович BARGAN, Vasily Aleksandrovich; RU
  • БАРГАН, Петр Александрович BARGAN, Petr Aleksandrovich; RU
  • КАШИН, Дмитрий Евгеньевич KASHIN, Dmitry Evgenevich; RU
  • ПЕЙСАХОВ, Александр Викторович PEISAKHOV, Aleksandr Viktorovich; RU
  • БОЛЬЩИКОВ, Борис Дмитриевич BOLSHCHIKOV, Boris Dmitrievich; RU
  • ХАЛЯВИН, Алексей Борисович KHALYAVIN, Aleksey Borisovich; RU
Données relatives à la priorité
201012913014.07.2010RU
Langue de publication russe (RU)
Langue de dépôt russe (RU)
États désignés
Titre
(EN) MULTILAYERED NANOCOMPOSITE FOR CAPACITORS AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) NANOCOMPOSITE À COUCHES MULTIPLES POUR CONDENSATEURS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
(RU) МНОГОСЛОЙНЫЙ НАНОКОМПОЗИТ ДЛЯ КОНДЕНСАТОРОВ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ
Abrégé
(EN)
The multilayered nanocomposite for capacitors comprises a substrate 1 consisting of a graphite film with a density of from 0.27 to 1.2 g/cm3, wherein a layer 2 of amorphous aluminium oxide, a layer 3 of titanium oxide of the rutile modification and a layer 4 of titanium nitride are arranged successively on the face of said substrate, with the layers being formed using the method of atomic layer deposition. Furthermore, the application of the layer of aluminium oxide is performed at a temperature of 270-330°C by means of the alternate pulsed supply of the following precursors to the reaction chamber: trimethylaluminium and ozone. The application of the layer of titanium dioxide is performed at a temperature of 450-500°C by means of the alternate pulsed supply of the following precursors to the reaction chamber: titanium tetrachloride and water, while the application of the layer of titanium nitride is performed at a temperature of 460-490°C by means of the alternate pulsed supply of precursors to the reaction chamber, with the precursors used being titanium tetrachloride and ammonia.
(FR)
Un nanocomposite à couches multiples pour condensateurs comprend un substrat (1) en feuil de graphite possédant une densité de 0,27 à 1,2 g/cm3 sur la face avant duquel on a déposé en séquence une couche (2) d’oxyde d’aluminium amorphe, une couche (3) d’oxyde de titane de modification rutile et une couche (4) de nitrure de titane formées par un procédé de dépôt atomique couche par couche. L’application de la couche d’oxyde de titane s’effectue à une température de 270-3300°C par injection pulsée et alternée dans la chambre de réaction de précurseurs triméthyl aluminium et ozone. L’application d’une couche de dioxyde de titane s’effectue à une température de 450-5000°C par injection pulsée et alternée dans la chambre de réaction de précurseurs tétrachlorotitane et eau; l’application de la couche de nitrure de titane se fait à une température de 460-4900°C par injection pulsée et alternée dans la chambre de réaction de précurseurs tétrachlorotitane et ammoniac.
(RU)
Многослойный нанокомпозит для конденсаторов содержит подложку 1 из графитовой фольги плотностью от 0,27 до 1,2 г/см3, на лицевой поверхности которой последовательно расположены слой 2 аморфного оксида алюминия, слой 3 оксида титана модификации рутил и слой 4 нитрида титана, сформированные методом атомно-слоевого осаждения. При этом нанесение слоя оксида алюминия ведут при температуре 270-3300C путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров: триметилалюминия и озона. Нанесение слоя диоксида титана ведут при температуре 450-5000C путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров: четыреххлористого титана и воды, а нанесение слоя нитрида титана ведут при температуре 460-4900C путем поочередной импульсной подачи в реакционную камеру прекурсоров, в качестве которых используются четыреххлористый титан и аммиак.
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