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1. WO2012008836 - APPAREIL D'INSPECTION ET PORTE REMPLAÇABLE DESTINÉE À LA CHAMBRE À VIDE DE CET APPAREIL D'INSPECTION, ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN APPAREIL D'INSPECTION

Numéro de publication WO/2012/008836
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/NL2011/050513
Date du dépôt international 14.07.2011
CIB
H01J 37/22 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
22Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
H01J 37/256 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
252Tubes analyseurs à spot par faisceaux électroniques ou ioniques; Micro-analyseurs
256utilisant des faisceaux de balayage
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
G01N 21/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
G01N 23/225 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
22en mesurant l'émission secondaire de matériaux
225en utilisant des microsondes électroniques ou ioniques
CPC
G01N 2021/625
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
625Excitation by energised particles such as metastable molecules
G01N 21/62
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
H01J 2237/204
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
20Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
204Means for introducing and/or outputting objects
H01J 2237/2445
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
244Detection characterized by the detecting means
2445Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
H01J 2237/2482
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
248Components associated with the control of the tube
2482Optical means
H01J 2237/2808
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
28Scanning microscopes
2803characterised by the imaging method
2808Cathodoluminescence
Déposants
  • DELMIC B.V. [NL/NL]; Molengraaffsingel 12-14 NL-2629 JD Delft, NL (AllExceptUS)
  • KRUIT, Pieter [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • HOOGENBOOM, Jacob Pieter [NL/NL]; NL (UsOnly)
  • ZONNEVYLLE, Aernout Christiaan [NL/NL]; NL (UsOnly)
Inventeurs
  • KRUIT, Pieter; NL
  • HOOGENBOOM, Jacob Pieter; NL
  • ZONNEVYLLE, Aernout Christiaan; NL
Mandataires
  • DE HOOP, Eric; Octrooibureau Vriesendorp & Gaade B.V. Dr. Kuyperstraat 6 NL-2514 BB Den Haag, NL
Données relatives à la priorité
200508014.07.2010NL
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) INSPECTION APPARATUS AND REPLACEABLE DOOR FOR A VACUUM CHAMBER OF SUCH AN INSPECTION APPARATUS AND A METHOD FOR OPERATING AN INSPECTION APPARATUS
(FR) APPAREIL D'INSPECTION ET PORTE REMPLAÇABLE DESTINÉE À LA CHAMBRE À VIDE DE CET APPAREIL D'INSPECTION, ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UN APPAREIL D'INSPECTION
Abrégé
(EN)
An inspection apparatus is provided comprising in combination at least an optical microscope (2, 3, 4) and an ion- or electron microscope (7, 8) equipped with a source (7) for emitting a primary beam (9) of radiation to a sample (10) in a sample holder. The apparatus may comprise a detector (8) for detection of secondary radiation (11) backscattered from the sample and induced by the primary beam. The optical microscope is equipped with an light collecting device (2) to receive in use luminescence light (12) emitted by the sample and to focus it on a photon-detector (4).
(FR)
La présente invention se rapporte à un appareil d'inspection qui combine au moins un microscope optique avec un microscope ionique ou électronique comprenant une source conçue pour émettre un faisceau de rayonnement primaire vers un échantillon dans un porte-échantillon. Ledit appareil peut comporter un détecteur servant à détecter un rayonnement secondaire qui est rétrodiffusé par l'échantillon et induit par le rayonnement primaire. Le microscope optique est muni d'un dispositif collecteur de lumière permettant de recevoir, lors de l'utilisation, la lumière de luminescence émise par l'échantillon et de la concentrer sur un détecteur de photons.
Également publié en tant que
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