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Paramétrages

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1. WO2012008112 - APPAREIL DE NETTOYAGE DE RÉACTEUR ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE RÉACTEUR

Numéro de publication WO/2012/008112
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/003802
Date du dépôt international 04.07.2011
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 11.11.2011
CIB
C01B 33/02 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
BÉLÉMENTS NON MÉTALLIQUES; LEURS COMPOSÉS
33Silicium; Ses composés
02Silicium
CPC
B05B 13/0636
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
13Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
06specially designed for treating the inside of hollow bodies
0627Arrangements of nozzles or spray heads specially adapted for treating the inside of hollow bodies
0636by means of rotatable spray heads or nozzles
B05B 3/06
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
3Spraying or sprinkling apparatus with moving outlet elements or moving deflecting elements
02with rotating elements
04driven by the liquid or other fluent material discharged, e.g. the liquid actuating a motor before passing to the outlet
06by jet reaction ; , i.e. creating a spinning torque due to a tangential component of the jet
B05B 3/066
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
3Spraying or sprinkling apparatus with moving outlet elements or moving deflecting elements
02with rotating elements
04driven by the liquid or other fluent material discharged, e.g. the liquid actuating a motor before passing to the outlet
06by jet reaction ; , i.e. creating a spinning torque due to a tangential component of the jet
066the movement of the outlet elements being a combination of two movements, one being rotational
B08B 9/0813
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
08CLEANING
BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
9Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
08Cleaning containers, e.g. tanks
0804Cleaning containers having tubular shape, e.g. casks, barrels, drums
0813by the force of jets or sprays
C01B 33/027
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
02Silicon
021Preparation
027by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
C01B 33/035
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; ; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
33Silicon; Compounds thereof
02Silicon
021Preparation
027by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
035by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds in the presence of heated filaments of silicon, carbon or a refractory metal, e.g. tantalum or tungsten, or in the presence of heated silicon rods on which the formed silicon is deposited, a silicon rod being obtained, e.g. Siemens process
Déposants
  • 信越化学工業株式会社 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. [JP/JP]; 東京都千代田区大手町二丁目6番1号 6-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP (AllExceptUS)
  • 黒谷 伸一 KUROTANI, Shinichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 岡田 淳一 OKADA, Junichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 祢津 茂義 NETSU, Shigeyoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 久米 史高 KUME, Fumitaka [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 黒谷 伸一 KUROTANI, Shinichi; JP
  • 岡田 淳一 OKADA, Junichi; JP
  • 祢津 茂義 NETSU, Shigeyoshi; JP
  • 久米 史高 KUME, Fumitaka; JP
Mandataires
  • 大野 聖二 OHNO, Seiji; 東京都千代田区丸の内1丁目6番5号 丸の内北口ビル21階 大野総合法律事務所 OHNO & PARTNERS, Marunouchi Kitaguchi Building 21F, 6-5, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005, JP
Données relatives à la priorité
2010-16178816.07.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) REACTOR CLEANING APPARATUS AND REACTOR CLEANING METHOD
(FR) APPAREIL DE NETTOYAGE DE RÉACTEUR ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE RÉACTEUR
(JA) 反応炉洗浄装置および反応炉洗浄方法
Abrégé
(EN)
Provided is a technology for reliably removing halogenated silane polymers adhered to the inner wall surface of a reactor, and with which a desired area of the reactor inner wall can be washed in a focused manner. A rotating member (22), which is mounted to the tip of a vertical shaft (21), can rotate centered on an axis (Q). A nozzle support body (23) is able to rotate centered on an axis (P), and when the rotating member (22) rotates, the rotating member (22) revolves around the vertical shaft (21) centered on the axis (Q). When cleaning water is sprayed from a nozzle (24) at high pressure, the nozzle support body (23) rotates centered on the axis (P) due to the spray reaction force, and said rotation is transmitted to the rotating member (22). Consequently, the rotating member (22) rotates at the same time the nozzle support body (23) rotates. As a result, the nozzle support body (23) revolves while rotating around the vertical shaft (21). Due to this self-revolving mechanism, cleaning water that is sprayed from the nozzle (24) at high pressure is sprayed three-dimensionally, thereby cleaning the surface of the inner wall (32) of the reactor (30).
(FR)
L'invention concerne une technologie pour l'élimination de façon fiable de polymères de silane halogénés ayant adhéré à la surface de paroi interne d'un réacteur, et avec laquelle une zone souhaitée de la paroi interne du réacteur peut être lavée d'une manière ciblée. Un élément rotatif (22), qui est monté au bout d'un arbre vertical (21), peut tourner de façon centrée sur un axe (Q). Un corps de support de buse (23) peut tourner de façon centrée sur un axe (P) et, lorsque l'élément rotatif (22) tourne, l'élément rotatif (22) tourne autour de l'arbre vertical (21) centré sur l'axe (Q). Lorsque de l'eau de nettoyage est pulvérisée à partir d'une buse (24) à haute pression, le corps de support de buse (23) tourne de façon centrée sur l'axe (P) à cause de la force de réaction de pulvérisation, et ladite rotation est transmise à l'élément rotatif (22). En conséquence, l'élément rotatif (22) tourne en même temps que le corps de support de buse (23) tourne. En conséquence, le corps de support de buse (23) tourne tout en tournant autour de l'arbre vertical (21). En raison de ce mécanisme tournant automatiquement, de l'eau de nettoyage qui est pulvérisée à partir de la buse (24) à haute pression est pulvérisée de façon tridimensionnelle, ce qui nettoie de cette manière la surface de la paroi interne (32) du réacteur (30).
(JA)
 本発明は、反応炉の内壁面に付着したハロゲン化シランの重合物を確実に除去するとともに、反応炉内壁の所望の領域を重点的に洗浄することを可能とする技術を提供する。垂直軸(21)の先端部に取り付けられた回転部材(22)は軸Qを中心に自転可能である。ノズル支持体(23)は軸Pを中心に自転可能であり、回転部材(22)が自転すると軸Qを中心に垂直軸(21)の周りを公転する。ノズル(24)から洗浄水が高圧噴射されると、その噴射反動力によってノズル支持体(23)が軸Pを中心に自転し、該自転が回転部材(22)に伝達される。従って、ノズル支持体(23)が自転すると同時に、回転部材(22)が自転する。その結果、ノズル支持体(23)は垂直軸(21)の周りを自転しながら公転する。このような自公転機構により、ノズル(24)から高圧噴射される洗浄水が三次元方向に噴射されて反応炉(30)の内壁(32)の表面が洗浄される。
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