Traitement en cours

Veuillez attendre...

Paramétrages

Paramétrages

1. WO2012008031 - PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR MESURER LA FORME D'UNE SURFACE À INSPECTER, ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER UN ÉLÉMENT OPTIQUE

Numéro de publication WO/2012/008031
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2010/061940
Date du dépôt international 15.07.2010
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 27.12.2010
CIB
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01J 9/02 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
9Mesure du déphasage des rayons lumineux; Recherche du degré de cohérence; Mesure de la longueur d'onde des rayons lumineux
02par des méthodes interférométriques
G01M 11/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
MTEST D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES OU DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; TEST DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11Test des appareils optiques; Test des structures ou des ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
CPC
G01B 2210/52
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
2210Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
52Combining or merging partially overlapping images to an overall image
G01M 11/005
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
005Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
G01M 11/025
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0242by measuring geometrical properties or aberrations
025by determining the shape of the object to be tested
G01M 11/0271
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
02Testing optical properties
0242by measuring geometrical properties or aberrations
0271by using interferometric methods
Déposants
  • キヤノン株式会社 CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP (AllExceptUS)
  • 大嵜 由美子 OSAKI Yumiko [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 大嵜 由美子 OSAKI Yumiko; JP
Mandataires
  • 阿部 琢磨 ABE Takuma; 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノン株式会社内 C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SHAPE OF SURFACE TO BE INSPECTED, AND METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR MESURER LA FORME D'UNE SURFACE À INSPECTER, ET PROCÉDÉ POUR FABRIQUER UN ÉLÉMENT OPTIQUE
(JA) 被検面の形状を計測する計測方法、計測装置及び光学素子の製造方法
Abrégé
(EN)
Provided is a measuring method or measuring apparatus, wherein a time needed to measure the whole shape of a surface to be inspected can be shortened. A plurality of measuring ranges are respectively set such that, with a part of the surface to be inspected as one measuring range, each measuring range forms an overlapping region with at least a part of one other measuring range. Then, the shape of the surface to be inspected is measured with first resolution within a first measuring range among the measuring ranges, and is measured with second resolution within a second measuring range. Using the measurement data, the shape of the surface to be inspected is calculated by combining the data of the shapes of the surfaces within the measuring ranges.
(FR)
L'invention porte sur un procédé de mesure ou sur un appareil de mesure, dans lesquels un temps nécessaire pour mesurer la totalité de la forme d'une surface à inspecter peut être raccourci. Une pluralité de plages de mesure sont respectivement établies, de telle sorte que, une partie de la surface devant être inspecter constituant une plage de mesure, chaque plage de mesure forme une région chevauchée avec au moins une partie d'une autre plage de mesure. Ensuite, la forme de la surface à inspecter est mesurée à une première résolution à l'intérieur d'une première plage de mesure parmi les plages de mesure, et est mesurée à une seconde résolution à l'intérieur d'une seconde plage de mesure. À l'aide des données de mesure, la forme de la surface à inspecter est calculée par combinaison des données des formes des surfaces à l'intérieur des plages de mesure.
(JA)
被検面の全体形状計測する時間を短縮することのできる計測方法又は装置を提供する。 被検面の一部を1つの測定範囲として1つの測定範囲が少なくとも1つの他の測定範囲の一部と重なり領域を形成するように複数の測定範囲の各々を設定する。そして、複数の測定範囲のうち第1の測定範囲において被検面の形状を第1の解像度で計測し、第2の測定範囲において第2の解像度で計測する。それらの計測データを用いて複数の測定範囲の各々の被検面の形状のデータをつなぎあわせて被検面の形状を算出する。
Également publié en tant que
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international