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Paramétrages

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1. WO2012007602 - PROCÉDÉ POUR FABRIQUER DES NANO-AIGUILLES DANS DES ZONES D'INTÉRÊT LOCALISÉES À L'INTÉRIEUR D'ÉCHANTILLONS SOLIDES À L'ÉCHELLE NANOMÉTRIQUE

Numéro de publication WO/2012/007602
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/ES2011/000180
Date du dépôt international 30.05.2011
CIB
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
G01N 1/28 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
1Echantillonnage; Préparation des éprouvettes pour la recherche
28Préparation d'échantillons pour l'analyse
CPC
H01J 2237/31745
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
3174Etching microareas
31745for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
H01J 2237/31749
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
31749Focused ion beam
H01J 37/3056
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
305for casting, melting, evaporating or etching
3053for evaporating or etching
3056for microworking, e.g. etching of gratings, trimming of electrical components
Déposants
  • UNIVERSIDAD DE CADIZ [ES/ES]; C/ Ancha, 16 E-11001 Cádiz, ES (AllExceptUS)
  • MOLINA RUBIO, Sergio Ignacio [ES/ES]; ES (UsOnly)
  • HERRERA COLLADO, Miriam [ES/ES]; ES (UsOnly)
  • HERNANDEZ SAZ, Jesús [ES/ES]; ES (UsOnly)
Inventeurs
  • MOLINA RUBIO, Sergio Ignacio; ES
  • HERRERA COLLADO, Miriam; ES
  • HERNANDEZ SAZ, Jesús; ES
Mandataires
  • OTRI-UNIVERSIDAD DE CADIZ; Vicerrectorado de I+D+i C/Benito Pérez Goldós, s/n E-11002, Cádiz, ES
Données relatives à la priorité
P20100091112.07.2010ES
Langue de publication espagnol (ES)
Langue de dépôt espagnol (ES)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING NANONEEDLES IN AREAS OF INTEREST LOCATED INSIDE SOLID SAMPLES ON THE NANOMETRE SCALE
(ES) MÉTODO PARA FABRICAR NANOAGUJAS EN ZONAS DE INTERÉS LOCALIZADAS EN EL INTERIOR DE MUESTRAS SÓLIDAS A ESCALA NANOMÉTRICA.
(FR) PROCÉDÉ POUR FABRIQUER DES NANO-AIGUILLES DANS DES ZONES D'INTÉRÊT LOCALISÉES À L'INTÉRIEUR D'ÉCHANTILLONS SOLIDES À L'ÉCHELLE NANOMÉTRIQUE
Abrégé
(EN)
The invention relates to a method for manufacturing nanoneedles in areas of interest located inside solid samples on the nanometre scale. The method relates to FIB sample preparation for analysis of said sample using any technique, in which it is interesting to study an independent feature of the material, or where it is useful to have a specific feature in a nanoneedle such as for the production of SNOM nanoneedles. FIB sample preparation enables the selection of specific features of the surface of the sample on the nanometre scale, but when the area of interest is located inside a solid sample, a novel method is required. Said method is disclosed in the present invention, combining production by FIB - including the addition of marks on a layer of electron-transparent material - with TEM observation in order to select a specific feature of the inside of the material and to manufacture a nanoneedle using said feature.
(ES)
Método para fabricar nanoagujas en zonas de interés localizadas en el interior de muestras sólidas a escala nanométrica. Este método está relacionado con la preparación de muestras por FIB para su análisis por cualquier técnica donde es interesante estudiar una característica independiente del material, o donde es útil tener una característica concreta en una nanoaguja como para la fabricación de nanoagujas SNOM. La preparación de muestra por FIB permite seleccionar características concretas de la superficie de la muestra a escala nanométrica, pero cuando la zona de interés está localizada en el interior de una muestra sólida, es necesario una nueva metodología. Este método se presenta en la presente invención, donde se combina fabricación por FIB incluyendo la introducción de marcas en una capa de material electrón- transparente y la observación por TEM, de modo que se consigue seleccionar una característica concreta del interior del material y fabricar una nanoaguja con ella.
(FR)
L'invention concerne un procédé pour fabriquer des nano-aiguilles dans des zones d'intérêt localisées à l'intérieur d'échantillons solides à l'échelle nanométrique. Ce procédé est associé à la préparation d'échantillons par FIB (faisceau d'ions focalisés) pour leur analyse par une technique quelconque selon laquelle il est intéressant d'étudier une caractéristique indépendante du matériau, ou selon laquelle il est utile d'avoir une caractéristique concrète dans une nano-aiguille pour la fabrication de nano-aiguilles SNOM (microscopie optique en champ proche). La préparation d'échantillon par FIB permet de sélectionner des caractéristiques concrètes de la surface de l'échantillon à l'échelle nanométrique, mais lorsque la zone d'intérêt est localisée à l'intérieur d'un échantillon solide, une nouvelle méthodologie est nécessaire. L'invention concerne un nouveau procédé, qui combine la fabrication par FIB consistant à introduire des marques dans une couche de matériau transparente aux électrons et l'observation par TEM (microscopie optique à transmission), de façon à pouvoir sélectionner une caractéristique concrète de l'intérieur du matériau et fabriquer une nano-aiguille avec celle-ci.
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