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1. WO2012007146 - PROCÉDÉ D'AMÉLIORATION DE L'EFFICACITÉ DE FONCTIONNEMENT D'UNE LAMPE À DÉCHARGE À PLASMA EUV

Numéro de publication WO/2012/007146
Date de publication 19.01.2012
N° de la demande internationale PCT/EP2011/003467
Date du dépôt international 11.07.2011
CIB
H05G 2/00 2006.01
HÉLECTRICITÉ
05TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
GTECHNIQUE DES RAYONS X
2Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
CPC
H05G 2/003
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
H05G 2/005
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
003being produced from a liquid or gas
005containing a metal as principal radiation generating component
H05G 2/008
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
001X-ray radiation generated from plasma
008involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
Déposants
  • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastr. 27c 80686 München, DE (AllExceptUS)
  • NEFF, Willi [DE/BE]; BE (UsOnly)
  • VAUDREVANGE, Dominik [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • METZMACHER, Christof [DE/BE]; BE (UsOnly)
Inventeurs
  • NEFF, Willi; BE
  • VAUDREVANGE, Dominik; DE
  • METZMACHER, Christof; BE
Mandataires
  • GAGEL, Roland; Landsberger Str. 480a 81241 München, DE
Données relatives à la priorité
10 007 377.415.07.2010EP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) METHOD OF IMPROVING THE OPERATION EFFICIENCY OF A EUV PLASMA DISCHARGE LAMP
(FR) PROCÉDÉ D'AMÉLIORATION DE L'EFFICACITÉ DE FONCTIONNEMENT D'UNE LAMPE À DÉCHARGE À PLASMA EUV
Abrégé
(EN)
The present invention relates to a method of improving the operation efficiency of a plasma discharge lamp generating EUV radiation and/or soft X- rays, said lamp comprising at least two electrodes (1, 2) being formed of a refractory metal and means for applying a liquid metal to a surface portion of at least one of said electrodes (1, 2) during operation of the lamp. At least one of said electrodes (1, 2) is pre-treated in a pre-treatment step, in which at least said surface portion of said electrode (1, 2) is brought into contact with the liquid metal and thermally annealed at a temperature of ≥ 800° C to cause a reaction between the refractory metal and the liquid metal in a reaction zone (9) of a controlled depth on said electrode (1, 2). Alternatively, a layer of a further material may be deposited on said surface portion, said further material being selected to improve the wetting behaviour of said surface portion for the liquid metal. With the proposed method the time required for in- situ wetting procedures of such a lamp is reduced resulting in an improvement of the overall efficiency of the lamp. Furthermore, the lifetime of the lamp is enhanced due to reduced electrode erosion.
(FR)
La présente invention concerne un procédé d'amélioration de l'efficacité de fonctionnement d'une lampe à décharge à plasma produisant un rayonnement EUV et/ou des rayons X mous, ladite lampe comprenant au moins deux électrodes (1, 2) qui sont formées dans un métal réfractaire et un moyen destiné à appliquer un métal liquide sur une partie de la surface d'au moins une desdites électrodes (1, 2) pendant le fonctionnement de la lampe. Au moins une des deux électrodes (1, 2) est prétraitée dans une étape de prétraitement au cours de laquelle au moins ladite partie de la surface de ladite électrode (1, 2) est mise en contact avec le métal liquide et est recuite thermiquement à une température de ≥ 800 °C afin de provoquer une réaction entre le métal réfractaire et le métal liquide dans une zone de réaction (9) d'une profondeur contrôlée de ladite électrode (1, 2). En variante, une couche d'un autre matériau peut être déposée sur ladite partie de la surface, ledit autre matériau étant sélectionné pour améliorer le comportement de mouillage de ladite partie de la surface vis-à-vis du métal liquide. Grâce au procédé proposé, le temps nécessaire pour les procédures de mouillage in situ de ce type de lampe est réduit, ce qui aboutit à une amélioration de l'efficacité générale de la lampe. Par ailleurs, la durée de vie de la lampe est prolongée à cause de la moindre érosion de l'électrode.
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