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Paramétrages

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1. WO2012006611 - MESURE DE TEMPÉRATURE, DE SAUT DE BANDE OPTIQUE, D'ÉPAISSEUR DE FILM ET DE RUGOSITÉ DE SURFACE EN TEMPS RÉEL POUR FILMS MINCES APPLIQUÉS À DES SUBSTRATS TRANSPARENTS

Numéro de publication WO/2012/006611
Date de publication 12.01.2012
N° de la demande internationale PCT/US2011/043507
Date du dépôt international 11.07.2011
CIB
G01B 11/30 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
G01N 21/958 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
958Inspection de matériaux transparents
CPC
G01B 11/0616
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness, e.g. of sheet material
0616of coating
G01B 11/0625
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width or thickness
06for measuring thickness, e.g. of sheet material
0616of coating
0625with measurement of absorption or reflection
G01B 11/303
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
303using photoelectric detection means
G01N 21/47
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
47Scattering, i.e. diffuse reflection
G01N 21/8422
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
8422Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
Déposants
  • K-SPACE ASSOCIATES, INC. [US/US]; 2182 Bishop Circle East Dexter, MI 48130, US (AllExceptUS)
  • BARLETT, Darryl [US/US]; US (UsOnly)
  • TAYLOR, Charles, A., II [US/US]; US (UsOnly)
  • WISSMAN, Barry, D. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs
  • BARLETT, Darryl; US
  • TAYLOR, Charles, A., II; US
  • WISSMAN, Barry, D.; US
Mandataires
  • SHACKELFORD, Jon, E.; Dickinson Wright PLLC 2600 W. Big Beaver Road Suite 300 Troy, MI 48084-3312, US
Données relatives à la priorité
61/362,93809.07.2010US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) REAL-TIME TEMPERATURE, OPTICAL BAND GAP, FILM THICKNESS, AND SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT FOR THIN FILMS APPLIED TO TRANSPARENT SUBSTRATES
(FR) MESURE DE TEMPÉRATURE, DE SAUT DE BANDE OPTIQUE, D'ÉPAISSEUR DE FILM ET DE RUGOSITÉ DE SURFACE EN TEMPS RÉEL POUR FILMS MINCES APPLIQUÉS À DES SUBSTRATS TRANSPARENTS
Abrégé
(EN)
A method and apparatus (20) used in connection with the manufacture of thin film semiconductor materials (26) deposited on generally transparent substrates (28), such as photovoltaic cells, for monitoring a property of the thin film (26), such as its temperature, surface roughness, thickness and/or optical absorption properties. A spectral curve (44) derived from diffusely scattered light (34, 34') emanating from the film (26) reveals a characteristic optical absorption (Urbach) edge. Among other things, the absorption edge is useful to assess relative surface roughness conditions between discrete material samples (22) or different locations within the same material sample (22). By comparing the absorption edge qualities of two or more spectral curves, a qualitative assessment can be made to determine whether the surface roughness of the film (26) may be considered of good or poor quality.
(FR)
L'invention porte sur un procédé et sur un appareil (20) utilisés en association avec la fabrication de matériaux semi-conducteurs à film mince (26) déposés sur des substrats globalement transparents (28), tels que des cellules photovoltaïques, pour contrôler une propriété du film mince (26), telle que sa température, sa rugosité de surface, son épaisseur et/ou ses propriétés d'absorption optiques. Une courbe spectrale (44) dérivée d'une lumière dispersée par diffusion (34, 34') émanant du film (26) révèle un bord d'absorption optique caractéristique (Urbach). Entre autres, le bord d'absorption est utile pour estimer des conditions de rugosité de surface relatives entre des échantillons de matériau individuels (22) ou des emplacements différents à l'intérieur du même échantillon de matériau (22). Par la comparaison des qualités de bord d'absorption de deux ou plusieurs courbes spectrales, une estimation qualitative peut être effectuée afin de déterminer si la rugosité de surface du film (26) peut être considérée comme étant de bonne qualité ou de qualité médiocre.
Également publié en tant que
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