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Paramétrages

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1. WO2012005056 - MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE DU TYPE À TRANSMISSION

Numéro de publication WO/2012/005056
Date de publication 12.01.2012
N° de la demande internationale PCT/JP2011/061232
Date du dépôt international 16.05.2011
CIB
H01J 37/153 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
153Dispositions électronoptiques ou ionoptiques pour la correction de défauts d'images, p.ex. stigmateurs
H01J 37/22 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
22Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
H01J 37/24 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
24Circuits non adaptés à une application particulière du tube et non prévus ailleurs
H01J 37/28 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28avec faisceaux de balayage
CPC
H01J 2237/1534
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
153Correcting image defects, e.g. stigmators
1534Aberrations
H01J 2237/216
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
21Focus adjustment
216Automatic focusing methods
H01J 2237/2826
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
26Electron or ion microscopes
282Determination of microscope properties
2826Calibration
H01J 37/153
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
153Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
H01J 37/261
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
261Details
H01J 37/28
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
28with scanning beams
Déposants
  • 株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP (AllExceptUS)
  • 秋間 学尚 AKIMA Hisanao [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 吉田 高穂 YOSHIDA Takaho [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventeurs
  • 秋間 学尚 AKIMA Hisanao; JP
  • 吉田 高穂 YOSHIDA Takaho; JP
Mandataires
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区八丁堀二丁目7番1号 7-1, Hatchobori 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040032, JP
Données relatives à la priorité
2010-15296405.07.2010JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE DU TYPE À TRANSMISSION
(JA) 走査透過電子顕微鏡
Abrégé
(EN)
Disclosed is a scanning transmission type electron microscope provided with: an aberration corrector (805) for correcting the aberration of an electron optical system that irradiates electron beams to a sample (808); detectors (813, 814) for detecting electron beams that have transmitted through the sample; and an information processing apparatus (703) for processing signals detected by the detectors. The information processing apparatus divides a Ronchigram obtained by the detector into a plurality of areas, and calculates a feature vector (W; 903), which reflects the magnitude and direction of an on-axis secondary coma aberration (B2), from the values of an off-axis defocus (C1 (τ)) to be obtained for each of the plurality of areas, and the distance (τ) from the center of the Ronchigram to the center of the plurality of areas, and also calculates the correcting condition for the on-axis secondary coma aberration with the feature vector. In such a way, a scanning transmission type electron microscope that can correct the on-axis secondary coma aberration thereof in a short period of time, and efficiently, was able to be provided.
(FR)
L'invention concerne un microscope électronique à balayage du type à transmission, comprenant : un correcteur d'aberration (805) destiné à corriger l'aberration d'un système optique électronique qui envoie des faisceaux d'électrons vers un échantillon (808) ; des détecteurs (813, 814) destinés à détecter des faisceaux d'électrons qui ont été transmis au travers de l'échantillon ; et un appareil de traitement d'informations (703) destiné à traiter les signaux détectés par les détecteurs. L'appareil de traitement d'informations divise un ronchigramme obtenu par le détecteur en une pluralité de zones et calcule un vecteur caractéristique (W ; 903) qui reflète l'amplitude et la direction d'une aberration secondaire de coma sur l'axe (B2), à partir des valeurs du flou de profondeur hors axe (C1(τ)) obtenu de chacune des zones dans la pluralité de zones et de la distance (τ) entre le centre du ronchigramme et le centre des zones ; il calcule en outre la condition de correction pour l'aberration secondaire de coma sur l'axe à l'aide du vecteur. De cette manière, on obtient un microscope électronique à balayage du type à transmission qui peut corriger l'aberration secondaire de coma dans l'axe en une brève période de temps et efficacement.
(JA)
 本発明の走査透過電子顕微鏡は、試料(808)に電子線を照射する電子光学系の収差を補正する収差補正器(805)と、試料を透過した電子線を検出する検出器(813、814)と、検出器の検出信号を処理する情報処理装置(703)とを備え、情報処理装置が検出器により取得されたロンチグラムを複数領域に分割し、該複数領域毎に求まる軸外デフォーカス(C1(τ))とロンチグラム中心から複数領域の中心までの距離(τ)との値から軸上2次コマ収差(B2)の大きさと方向を反映した特徴ベクトル(W;903)を算出し、更に、該特徴ベクトルから軸上2次コマ収差の補正条件を算出することを特徴とする。これにより、軸上2次コマ収差を短時間で効率的に補正することのできる走査透過電子顕微鏡を提供できるようになった。
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