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Paramétrages

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1. WO2012003529 - SYSTÈME D'ACTIONNEMENT DE LENTILLE MICRO-ÉLECTRO-MÉCANIQUE À BASE DE PIÉZOÉLECTRIQUE

Numéro de publication WO/2012/003529
Date de publication 12.01.2012
N° de la demande internationale PCT/AU2011/000837
Date du dépôt international 04.07.2011
CIB
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B81B 5/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
5Dispositifs comportant des éléments mobiles les uns par rapport aux autres, p.ex. comportant des éléments coulissants ou rotatifs
G02B 26/08 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
H01L 41/083 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
41Dispositifs piézo-électriques en général; Dispositifs électrostrictifs en général; Dispositifs magnétostrictifs en général; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives; Détails
08Eléments piézo-électriques ou électrostrictifs
083avec une structure empilée ou multicouche
CPC
G02B 13/0075
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
13Optical objectives specially designed for the purposes specified below
001Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras
0055employing a special optical element
0075having an element with variable optical properties
G02B 26/0858
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0858the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
G02B 26/0875
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0875by means of one or more refracting elements
H01L 41/0906
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
0906using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
H01L 41/0953
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
0926using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
0933Beam type
094Cantilevers, i.e. having one fixed end
0953with multiple segments mechanically connected in series, e.g. zig-zag type
H01L 41/0986
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
09with electrical input and mechanical output ; , e.g. actuators, vibrators
0986using longitudinal or thickness displacement only, e.g. d33 or d31 type devices
Déposants
  • MICHAEL, Aron [AU/AU]; AU
  • KWOK, Chee Yee [AU/AU]; AU
Inventeurs
  • MICHAEL, Aron; AU
  • KWOK, Chee Yee; AU
Mandataires
  • ADAMS PLUCK; P.O. Box 905 Hornsby NSW 2077, AU
Données relatives à la priorité
201090297605.07.2010AU
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PIEZO-ELECTRIC BASED MICRO-ELECTRO-MECHANICAL LENS ACTUATION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'ACTIONNEMENT DE LENTILLE MICRO-ÉLECTRO-MÉCANIQUE À BASE DE PIÉZOÉLECTRIQUE
Abrégé
(EN)
Disclosed is a piezo-electrically actuated micro-mechanical deformable member comprising a corrugated longitudinal beam (521) formed in a substrate, and having a first anchored end (502) and a second end (509), as well as a plurality of piezoelectric film (PZET) actuating segments (522, 523, 524) formed in or on at least some grooves and ridges of the corrugated beam, the beam (521) being configured to assume one of a number of different geometric configurations depending upon which of a corresponding set of electric actuation signals (105) are applied to the PZET elements, the electric actuation signals establishing corresponding electric fields in the associated PZET segments to thereby deform the member.
(FR)
L'invention porte sur un élément déformable micro-mécanique actionné de façon piézoélectrique, lequel élément comprend une poutre longitudinale ondulée (521) formée dans un substrat, et a une première extrémité ancrée (502) et une seconde extrémité (509), ainsi qu'une pluralité de segments d'actionnement à film piézoélectrique (PZET) (522, 523, 524) formés dans ou sur au moins certaines rainures et nervures de la poutre ondulée, la poutre (521) étant configurée de façon à prendre l'une d'un certain nombre de configurations géométriques différentes en fonction de ceux d'un ensemble correspondant de signaux d'actionnement électriques (105) qui sont appliqués aux éléments piézoélectriques, les signaux d'actionnement électriques établissant des champs électriques correspondants dans les segments piézoélectriques associés, de façon à déformer ainsi l'élément.
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